ISO14644

ISO 為全球各國標準化團體(ISO 會員團體)的聯合會。其國際標準工作一般是由ISO 各技術委員會執行。每個會員團體若對技術委員會的某一課題感興趣,均有權作為此技術委員會的代表。

解釋

任何與ISO 保持聯繫的國際組織,無論是政府的還是非政府的組織,同樣可參加此項工作。

國際標準 ISO 14644-1 由ISO/TC209 潔淨室及相關受控環境技術委員會提出。

ISO 14644在 潔淨室及相關受控環境的總標題下,

部分組成

第1部分

:空氣潔淨度等級劃分

第2部分

:驗證與ISO 14644-1 連續的相符性的測試和監測技術要求

第3部分:

計量和測試方法

第4部分:

設計、施工和啟動

第5部分:

運行

第6部分:

術語和定義

第7部分

增強的潔淨裝置

潔淨室及相關受控環境保證空氣中懸浮粒子被控制在合適的級別,以確保完成對污染敏感的有關活動。以下行業的產品和工藝均得益於空氣中懸浮污染物的控制:航天、微電子、醫藥、醫療器械、食品和保健品。

ISO 14644的本部分指定ISO分級的各級別,以此作為潔淨室及相關受控環境內空氣潔淨度的技術要求。本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測試的程式,而且確定了測試的標準方法。

為劃分等級,ISO 14644的本部分僅限於確定粒子濃度限值用的指定的粒徑範圍。本部分還提供了標準協定,以依據大於或小於指定分級用粒徑範圍的懸浮粒子濃度等級標識。

ISO 14644的本部分為潔淨室和污染控制系列標準中的一個標準。除懸浮粒子潔淨度之外,還有許多因素必須在潔淨室及其受控環境的設計、技術要求、運行和控制中予以考慮。這些內容在ISO/TC209 技術委員會制定的其它國際標準中有詳細論述。

屬於ISO14644 的本部分提出論證ISO14644-1連續相符性的方法、程式,並規定最低的測試和監測要求。對每一項測試計畫而言,應考慮特定的使用條件,安裝時的危險性評估及其防止。

潔淨室和相關受控環境用於將空氣懸浮粒子污染控制在合適的水平上,以確保污染敏感活動的完成。控制懸浮粒子的污染有利於下列行業的產品和製造過程:航天、微電子、製藥、醫療器械、保健品、食品和其它。在設計,制訂技術條件,使用和控制潔淨室和其它受控環境方面,除了考慮空氣懸浮粒子潔淨度等級外,還要計及其它因素。

在某些情況下,有關當局可提出補充性政策或限制。在此情況下,可對標準測試程式作適當調整。

屬於ISO14644的本部分,要求定期測試潔淨或潔淨區,以認證ISO14644-1的連續相符性,從而確定空氣懸浮粒子潔淨度等級。

在ISO14644-1中,根據上述要求,提出潔淨室或潔淨區等級測試,還規定了附加測試,也應按照屬於ISO14644的本部分各項要求加以完成。對根據用戶意願採用的選項測試,也要加以鑑定。

屬於ISO14644的本部分也規定了潔淨室和潔淨區(以下簡稱設施)的監測要求。為一定的空氣懸浮粒子潔淨度等級,提供ISO14644-1連續相符性的根據。

規定參考文獻

根據本文的參考文獻,下列規定檔案所含的各項條款可成為屬於ISO14644的本部分的各項條款。失去時效的參考文獻,以及它的後續更改,或改版,或其中任何一種出版物,均不得加以套用。但是屬於ISO14644的本部分協定各方鼓勵尋求採用最新版本的上述各種檔案的可能性,對未註明時效的參考文獻,應採用規定參考文獻的最新版本,ISO和IEC的成員單位都保存有現行有效國際標準匯總表。

ISO14644-1:1999,潔淨室和相關受控環境——第1部分空氣潔淨度等級劃分

ISO14644-3:<注1>,潔淨室和相關受控環境——第3部分:計量和測試方法

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