物品與成分辨識資料
物品名稱： 六甲基二矽胺（HMDS）
同義名稱：
化學性質：
危害物質成分
中英文名稱：六甲基二矽胺（Hexamethyldisilazane）、六甲基矽氧烷（Hexamethylisiloxane）
化學式：六甲基二矽胺（CH3）3SiNHSi（CH3）3
含量%：六甲基二矽胺90～100%
Cas號, 999-97-3. MDL MFCD00008259. Beilstein, 635752. EINECS 213-668-5.
危害物質分類：3 易燃液體；8 腐蝕性物質
危害辨識資料
最重要危害與效應：
急性:
眼睛接觸：會刺激與灼傷眼睛造成眼睛過敏、紅腫、刺痛或角膜受損。
皮膚接觸：會刺激與灼傷皮膚造成皮膚過敏、紅腫、刺痛或灼傷。
吸入：會刺激與灼傷鼻子與呼吸道器官系統，會產生頭痛、呼吸困難、呼吸急促、咳嗽以及眼睛紅腫並感到眼睛刺痛與灼傷。
吞食：會刺激與灼傷口腔、喉嚨與食道，會產生反胃、噁心與嘔吐等症狀。
慢性：腐蝕性，會刺激及灼傷皮膚、眼睛及上呼吸道系統，具有殺精作用！
主要症狀：呼吸困難、短促，頭痛、咳嗽、輕微麻痹，皮膚乾燥、龜裂，眼睛紅腫並有灼熱感。
急救措施
不同暴露途徑之急救方法：
吸入：移到空氣新鮮處； 呼吸困難者給予氧氣；送醫。
皮膚接觸：移去污染物，用肥皂洗淨並沖水15分鐘以上；送醫。
眼睛接觸：以大量清水沖洗15分鐘，立即就醫。
食入：
1.不可催吐，以清水沖洗口腔，若患者意識清楚則可給其飲用1至2杯清水。
2.立即就醫，當作吞食腐蝕物處理。
對急救人員之防護：避免接觸眼睛、皮膚、衣物。並穿戴手套、化學護目鏡、面罩。
對醫師之提示：告知其暴露途徑。
滅火措施
適用滅火劑： 二氧化碳、化學乾粉、泡沫。
滅火時可能遭遇之特殊危害：注意可能之靜電放電危險，本產品蒸氣比空氣重，須注意本產品蒸氣可能會擴散至附近的可能引火源造成起火或爆炸之危險。
特殊滅火程式：
1.燃燒時會產生氨氣，滅火時需穿著全護型化學安全防護衣攜帶SCBA。
2.用水噴灑曝露在火場中之本產品容器以降低其溫度，從上風處接近火源滅火，注意防範接觸本產品之有害蒸氣與分解物。
消防人員之特殊防護設備：滅火時需穿戴經NIOSH認證的自攜式呼吸防護具及穿著全身包複式防護衣。
泄漏處理方法
個人應注意事項：
1.在污染區尚未完全清理乾淨前，限制人員接近該區。
2.確定清理工作是由受過訓練的人員負責。
3.穿戴適當的個人防護裝備。
4.對該區域進行通風換氣。
環境注意事項：抽氣通風，移走撤離關閉所有可能之熱源、火星、火花與火焰等之引火源與點火裝置，若大量泄漏時先將泄漏區圍堵避免擴散。
清理方法：
少量泄漏時：以惰性吸收/吸附材料吸取泄漏物。
大量泄漏時：將泄漏區域圍堵，小心地道引將泄漏物抽取回收集桶。
安全處置與儲存方法
處置：本產品易產生靜電，搬運時將所有設備與容器適當接地，並須固定牢固，避免吸入蒸氣及接觸眼睛與皮膚。
存儲：置於陰涼、乾燥、通風處、緊蓋容器，遠離各種可能之熱源、火星、火花與火焰等之引火源與點火裝置，避免吸入蒸氣及接觸眼睛與皮膚。
暴露預防措施
工程控制：應置於密閉設備中，並裝有抽風裝置。
控制參數：
八小時日時量平均容許濃度(TLV)：N/A
短時間時量平均容許濃度(STEL)：N/A
最高容許濃度：N/A
生物指針：N/A
個人防護設備：
呼吸防護：OHSA認可之防有機蒸氣口罩。
手部防護：Rubber或Neoprene材質之手套。
眼睛防護：安全眼睛或防噴濺護目鏡。
皮膚及身體防護：沖洗及緊急淋浴設備。
衛生措施：不可觸及皮膚，眼睛，衣服，避免吸入蒸氣；於操作後徹底洗淨。
物理及化學性質
物質狀態：液體
形狀：液體
顏色：無色透明
氣味：似胺味
pH值：N/A
沸點/沸點範圍：126.6ºF(258.8ºC)
分解溫度： －
閃火點： 13ºC (55ºF)
測試方法： 閉杯
自燃溫度：N/A
爆炸界限： －
蒸氣壓：20mmHg
蒸氣密度：>1(空氣=1)
密度： 0.77（水=1，25ºC）
溶解度：不溶
安定性及反應性
安定性：安定
特殊狀況下可能之危害反應：不會產生危險性聚合物的可能。
應避免之狀況：
應避免之物質：H2O、酸、酒精、氧化劑。
危害分解物：NOX，SiO2，CO，CO2，NH3。
毒性資料
LD50：1350mg/Kg(皮膚接觸) LC50：10.3mg/L（吸入）
毒性效應：N/A；
生態資料
可能之環境影響/環境流布：N/A；
廢棄處置方法
廢棄處置方法：
依地方環保法規處理
* TEAP：Transportation Emergency Assistance Plan
運送資料
國際運送規定：
陸運 (ADR/RID class)：－
海運 (IMDG class)：－
空運 (ICAO/IATA class)：－
聯合國編號：UN No.：2924
國內運送規定：
特殊運送方法及注意事項：建議操作人員應有完善的訓練課程。
法規資料
適用法規：
國務院344號令《 危險化學品安全管理條例》
《 中華人民共和國消防法》
《 常用危險化學品的分類及標誌》
《 工作場所安全使用化學品規定》
汽車貨物運輸規則
公路運輸管理暫行條例
