產生背景
在固體材料中，從氫到氧等多種輕元素的存在顯著地改變了固體的表面性質。因此，精確測量這些輕元素在材料中的深度不僅在離子束技術而且在控制材料中某特定輕元素的含量等方面都有著非常重要的意義。而Ecuyes等人提出的彈性反衝分析的方法則是一種非破壞性的分析，並且因其解析度好、省時以及可以同時測量多種輕雜技等優點而得到廣泛套用。
工作原理
利用重金屬原子或高速輕原子轟擊材料表面，並使其到達表面某一深度，根據反衝粒子對目標材料的元素進行分析。
ERD是一種利用彈性反衝法對固體近表面處輕元素的深度分布進行分析的方法。
在固體材料中，從氫到氧等多種輕元素的存在顯著地改變了固體的表面性質。因此，精確測量這些輕元素在材料中的深度不僅在離子束技術而且在控制材料中某特定輕元素的含量等方面都有著非常重要的意義。而Ecuyes等人提出的彈性反衝分析的方法則是一種非破壞性的分析，並且因其解析度好、省時以及可以同時測量多種輕雜技等優點而得到廣泛套用。
利用重金屬原子或高速輕原子轟擊材料表面，並使其到達表面某一深度，根據反衝粒子對目標材料的元素進行分析。