高真空油擴散泵

油擴散泵是一種蒸氣射流泵，其工作原理是把工作介質（擴散泵油）的動能在抽氣方向上傳給被抽氣體來作為基礎的。擴散泵的抽氣過程是被抽氣體擴散到油蒸氣射流中而被攜帶到泵出口排除的過程。其工作極限真空度在10-2～10-5Pa範圍內。套用在設備上的擴散泵工作範圍在10-2～10-4Pa範圍內。