系統設備管道防腐處理
臭氧氣體具有很強的腐蝕性，在潮濕情況下腐蝕性最強。因此，臭氧發生設備‘輸送臭氧的管道’閥門及接觸反應設備均採取防腐措施。如使用碳鋼材料必須塗防腐塗層。最好使用不鏽鋼管，玻璃鋼管，ABS、PVC、PP-R塑膠管等。接觸池在使用鋼筋混凝土材料時應加防腐塗層。一般橡膠不耐臭氧氧化，所以臭氧發生設備間的電線，電纜等均不能使用橡膠包裹的電線，應使用塑膠電線。
設定通風排氣設備
臭氧具有毒性，空氣中臭氧濃度達到0.1mg/m3時就對人的眼睛、鼻、喉及呼吸道產生刺激作用在0.01-0.02mg/m3時可聞到臭味;因此在臭氧設備間應設定通風設備，萬一發生泄漏可及時排出臭氧。臭氧比空氣重，通風機應安裝在靠近地面處。
臭氧輸送管道及臭氧設備必須密閉，防止泄漏
在設備運行之前應檢查是否漏氣，運行中一旦發生泄漏應立即關掉臭氧發生器電源，打開排風扇排出臭氧，再進行檢修。
高效臭氧發生器為高壓放電設備，應設定接地裝置，接地電阻應小於4歐姆。操作應嚴格按照設備使用說明書及有關電器使用要求進行。
必須設定尾氣處理或尾氣回收裝置，反應後排出的臭氧尾氣必須經過分解破壞或回收利用，達到排放標準，否則將污染大氣。
採用臭氧消毒的污水，預處理是十分重要的，往往由於預處理程度不夠而影響臭氧消毒的效果，污水處理程度要經過技術經濟比較確定。污水消毒最好是經過二級處理後再用臭氧消毒，這樣可以減少臭氧的投加量，降低設備投資費用和運行費用。
