電子混合氣

電子混合氣:Electron gas mixture，指含有兩種或兩種以上有效組份，或雖屬非有效組份但其含量超過規定限量的氣體。由幾種氣體組成的混合物，是工程上常用的工質。混合氣體通常被當作理想氣體研究

引用標準：

1：GB/T 14601-2009(光電子級)高純氨

2：GB/T17874-2010（光電子級）三氯化硼

3：GB/T21287-2007（光電子級）三氟化氮

4：GB/T15909-2009 矽烷

5：GB/T14288-2009 （光電子級）氧化亞氮

6：GB/T18867-2002 六氟化硫

7：GB/T14602-2014 氯化氫

8：GB/T14603-2009（光電子級）三氟化硼

主組分氣體	平衡氣	混合氣中主組分氣含量/1%
矽烷	氬、氦、氫、氮	0.5~50
磷烷	氬、氦、氫、氮	（5~5000）x10-6；5~15
砷烷	氬、氦、氫、氮	（5~5000）x10-6；5~10
乙硼烷	氬、氦、氫、氮	（5~5000）x10-6；1~10
鍺烷	氬、氦、氫、氮	0.5~50
氯化氫	氬、氦、氫、氮	（10~1000）x10-6；0.1~10
硒烷	氬、氦、氫、氮	（5~5000）x10-6
二乙基碲	氬、氦、氫、氮	（5~150）x10-6
一氧化碳	氬、氦、空氣、六氟化硫	（1~1000）x10-6；0.1~3；22
氯	氬、氦、氮	（50~1000）x10-6；0.1~3.5；28
氨	氬、氦、氫、氮	5~50
四氟甲烷	氬、氦、氫、氮	5~100
四氟矽烷	氬、氦、氫、氮	10
六氟化硫	氬、氦、氫、氮	5~100