工作原理
電動輪廓儀式是通過儀器的觸針與被測表面的滑移進行測量的,是接觸測量。其主要優點是可以直接測量某些難以測量到的零件表面,如孔、槽等的表面粗糙度,又能直接按某種評定標準讀數或是描繪出表面輪廓曲線的形狀,且測量速度快、結果可靠、操作方便。但是被測表面容易被觸針劃傷,為此應在保證可靠接觸的前提下儘量減少測量壓力。
電動輪廓儀按感測器的工作原理分為電感式、感應式以及壓電式多種。儀器由感測器、驅動箱、電器箱等三個基本部件組成。
上圖為輪廓儀的結構示意圖。感測器的觸針由金剛石製成,針尖圓弧半徑為2微米,在觸針的後端鑲有導塊,形成一條相對於工件表面巨觀起伏的測量的基準,使觸針的位移僅相對於感測器殼體,所以導塊能起到消除巨觀幾何形狀誤差和減小紋波度對表面粗糙度測量結果的影響。感測器以鉸鏈形式和驅動箱連線,能自由下落,從而保證導塊始終與被測表面接觸。
TalySurf6採用的是電感式感測器,其工作原理簡述如下。感測器的一端裝有觸針,其尖端表面與被測表面接觸,當感測器以勻速水平移動時,被測表面的峰谷使探針產生上下位移,使敏感元件的電感發生變化,從而引起交流載波波形發生變化。此變化經由電器箱中放大、濾波、檢波、積分運算等部分處理以後,可以直接由儀器電器箱的讀數表上指示出來,也可以傳遞到計算機上進行處理。