起因
沈攸之兵敗的時間是宋順帝升明二年（公元478年），轉年開春，清除了異己的蕭道成便按部就班地向皇帝的位置邁進：在地方上安排自己的子孫或助手去接管兵權，在朝廷中則任命親信擔任重要職位；三月，蕭道成被封為相國、齊公，加九錫；四月，蕭道成進爵為王，加殊禮（所謂的殊禮也就是對大臣的最高禮遇：劍履上殿、入朝不趨、贊拜不名）。從前曹操、司馬昭、劉裕曾經得到的，蕭道成在478年在成都得得到。速度最快，功勞則最小。蕭道成的志向，不在天下之大，只在於權位之高，那么緊接著的下一步，當然就是禪代了。
經過
入朝執政
公元474年（元徽二年）五月，桂陽王劉休范反叛朝廷，蕭道成帶兵平叛，取得勝利，由於平叛有功，蕭道成晉爵為公，遷中領軍將軍，掌握禁衛軍，督五州軍事，但實際上已經形成蕭道成獨掌朝政的局面。當時，他與袁粲、褚淵、劉秉號稱“四貴”。此後，宋皇室成員為爭權自相殘殺，朝廷實權漸集於蕭道成。
公元476年（元徽四年），蕭道成升任尚書左僕射（相當於朝廷宰相）。同年七月，久蓄逆志的南徐州刺史建平王劉景素，自恃是劉義隆長孫，又有勤王之功，意欲奪取帝位。蕭道成果斷征討，激戰於京口萬歲樓下，很快劉景素兵敗被斬。
稱帝建朝
公元477年（元徽五年）六月，天氣炎熱，蕭道成在家赤膊午睡，劉昱闖了進來，用骨箭射中他的肚臍。蕭道成經過這次驚嚇，知道再也不能輔佐這樣的昏君。他命令越騎校尉王敬則收買皇帝侍從楊玉夫、楊萬年等25人，伺機滅掉劉昱。
七月七日，劉昱微服外出，晚上喝得酩酊大醉才回仁壽宮就寢。睡前命令侍從楊玉夫說：“今天是七月七，你看見織女和牛郎相會時就來向我報告，看不見就把你殺掉。”楊玉夫知道大禍將臨，於是決定先下手將其殺死。待小皇帝睡熟後，楊玉夫一刀將劉昱的頭砍下。蕭道成知道後立馬騎赤龍馬入宮，擁安成王劉準為帝，史稱宋順帝，改元升明。蕭道成進位侍中、司空、錄尚書事，任驃騎大將軍，總掌軍國大權。
袁粲、劉秉不滿蕭道成專權，合謀滅掉他，準備於十二月二十三日舉事。事泄，蕭道成搶先下手，殺死袁粲、劉秉，清除了奪取皇位道路上的兩個政敵。
公元479年（升明三年）三月初二日，宋順帝任命太傅蕭道成為相國，總領百官，封給他十個郡的封地，號稱齊公，頒賜九錫，讓他仍然擔任驃騎大將軍、揚州牧、南徐州刺史。同年四月，宋順帝頒詔將帝位禪讓給齊王蕭道成，蕭道成於是在建康南郊登基稱帝，設壇柴燎告天。至此，齊朝正式建立，史稱南齊。史稱蕭道成為齊高帝，改年號為建元。
結果
升明三年（479年），宋順帝遜位，蕭道成自立，改國號為“齊”，南齊政權建立，史稱蕭道成為齊高帝，改年號為建元。
齊高帝崇尚節儉，反對奢靡，並以身作則，將宮殿、御用儀仗等凡用金、銅製作的器具全部用鐵器替代，衣服上的玉佩、掛飾等統統取消。高帝蕭道成在位時經常吊在嘴邊的一句話是“使我治天下十年，當使黃金與土同價”，可見他的提倡節儉與身體力行。
齊高帝任用寒人掌權要，推行檢籍法，嚴令整頓戶籍，提倡節儉，減輕人民負擔，與北方通好，維護邊境安定。臨終前，他囑咐太子蕭賾：要警惕晉朝及劉宋皇室手足相殘的教訓，在治理國家，愛護同室兄弟方面要做好，國家政治穩定，經濟就會復甦。齊武帝蕭賾為政寬紓，人民得到10多年休養生息的時機，促進了南方經濟的發展。
蕭道成接受宋滅亡的教訓，務從儉約，減免百姓逋租宿債，寬簡刑罰，但對宋之宗室王侯，無少長皆幽死。次年下令擴大清理戶籍，按虞玩之的建議，設立校籍官，以宋元嘉二十七年版籍為準整理戶籍。但校籍工作弊端百出，貧苦人民常被誣為戶籍詐偽而從戶籍中剔除出來，同時也侵犯了庶族地主的利益。因而，在其死後不久，即因反對校籍而引發了唐寓之暴動。
齊高帝能吸取劉宋滅亡的教訓，革除前代暴政，提倡節儉。繼位的齊武帝蕭賾能恪守其父遺囑，不殺諸弟，朝政較為嚴明，內亂較少。因此，蕭齊時代的前十幾年，社會比較安定，人民得以休息，南方經濟也有了一定的發展。可惜他只在位4年，沒有實現他的夙願。
建元四年（482年）二月，齊高帝蕭道成病重。三月初八，蕭道成崩於臨光殿，終年56歲，在位僅4年。四月，謚曰太祖高皇帝。據史書記載，齊高帝蕭道成葬於武進泰安陵。 死後廟謚太祖高皇帝，葬於陵口（今江蘇省丹陽市陵口鎮）泰安陵。
