自燃氣體

氣體工業名詞術語，是指在氣溫≤54.15℃下，當與空氣接觸時能自發著火的氣體。

自燃氣體（Pyrophoric Gas）
在半導體工業常用材料氣體中，矽烷，磷烷，乙硼烷均屬於自燃氣體。在生產，運輸，貯存和使用這些氣體時，應特別注意氣體不要泄漏，以防與空氣混合自燃，甚至形成爆炸性混合氣。