自動曝光機

簡介

曝光機圖片
一、什麼是曝光機
曝光機即電子束曝光機，是集電子光學、電氣、機械、真空、計算機技術等於一體的複雜的半導體加工設備。
二、曝光機基本工作原理
在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進行曝光，受電子束輻照後的光刻膠，其物理化學性質發生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區域，從而在抗蝕劑上形成精細圖形。
三、曝光機的套用範圍
半導體生產線、微電子生產、LCD顯示、LCD顯示、線路板生產、PCB產品。