1．測量對象和被測量
幾何量測量的對象是多種多樣的，不同的測量對象有不同的被測量。如量塊被測量中心長度和平面度、平面平行性；螺紋零件的被測量有螺距、中徑、牙型半角等；孔和軸自要被測量是直徑；箱體零件的被測量有長、寬、高以及孔間距等；複雜的零件還有複合自測量，如絲槓和滾刀的螺旋線誤差等。因此對於被測對象的特性，被測參數的定義等都必須加以研究和熟悉，以便進行測量。
2．測量單位和標準量
幾何量測量常用的長度單位有米(m)、毫米(mm)、微米(μm)，平面角度單位為度、[角]分、[角]秒。
在測量過程中，測量單位是以物質形式來體現的。能體現測量單位和標準量的物質形式有：光波波長、量塊、線紋尺、多面稜體、圓分度盤等。
3．測量方法
測量方法是指完成測量工作所採用的方法、計量器具以及測量條件的總和。在JJF1001-1998《通用計量術語及定必》中測量方法被定義為：“進行測量時所用的，按類別敘述的一組操作邏輯次序。”
擬定測量方法時，需要根據被測對象和被測量的特點(形狀、大小、準確度要求等)定標準量、選擇量具或儀器；確定測量條件(如溫度和其他環境要求等)；擬定測量方案，工件定位，讀數和瞄準方式等。
基本的測量方法有：直接測量和間接測量，絕對測量和相對測量，接觸測量和非接劇量，單項測量和綜合測量，手動測量和自動測量，工序測量和終結測量，主動測量(線上測量)和被動測量等。
4．測量準確度
測量準確度是指測量結果與真值的一致程度。由於在測量過程中不可避免地總會存在量誤差，使測量結果的可靠程式受到一定的影響，測量誤差大，則測量結果的可靠性低；量誤差小，則測量結果的可靠性高。
