氧化物固溶體粉末

可用作研磨材料、並且在用作研磨材料時能夠獲得高研磨麵精度的被研磨麵的主成分為鈰氧化物的氧化物固溶體粉末。採用以氧化鈰為主成分的稀土類氧化物中固溶有鈣氧化物的氧化物固溶體研磨玻璃基板等玻璃材料時，能夠獲得高研磨麵精度的被研磨麵，非常適合用作研磨材料。使鈣元素固溶於以氧化鈰為主成分的稀土類氧化物中，能夠提高化學研磨力，並能夠得到更高的研磨麵精度。
【 權利要求 】 氧化物固溶體粉末，其特徵在於，鈣氧化物固溶於以鈰氧化物為主成分的稀土類氧化物。