氣體交付系統

氣體交付系統（Gas Delivery Systems）
　氣體工業名詞，將電子氣體或高純氣體由鋼瓶或液體貯槽經管道輸送到使用點的系統稱氣體交付系統。該系統包括：電化學拋光的散裝氣體貯槽或槽車，現場氣體生產裝置，鋼瓶或管束拖車，純化器，有毒氣體洗滌器，自動吹洗裝置和鋼瓶櫃，超潔淨氣體管路系統，閥門，減壓器，配件，計算機氣體監測系統以及其他管理設施。要求氣體在輸送過程中無二次污染，即要求整個系統有高度氣密性，氣體流過管道系統時無氣體脫附，無粒子脫落，氣體交付系統應由工業氣體廠負責運行和管理。