人物經歷
1997年在中國科學技術大學獲得理學博士學位後留校任教。
研究方向
低溫電漿物理與套用。
主要貢獻
主持或參加過多項國家自然科學面上和重點基金、國家863高技術探索基金和省部級基金項目的研究。在新型電漿源研製、電漿薄膜沉積及其機理、離子束納米表面製造和功能薄膜器件等方面進行過系列的研究工作,曾先後在日本原子力研究所做訪問學者、JSPS訪問研究員,法國巴黎第六大學從事博士後研究和日本靜岡大學訪問教授。在Appl. Phys. Lett.、Phys. Rev. B、Phys. Plasmas、J. Chem. Phys.等國內外重要學術期刊上發表論文八十多篇。
獲獎記錄
獲省級自然科學二等獎一項。