施敏[微電子專家、美國工程院院士]

施敏[微電子專家、美國工程院院士]

施敏,1936年3月21日出生於中國南京,微電子科學技術、半導體器件物理專家,台灣中央研究院院士、美國國家工程院院士、中國工程院外籍院士,台灣交通大學電子工程學系毫微米元件實驗室教授 。 1957年施敏畢業於台灣大學,之後赴美留學;1960年獲得華盛頓大學碩士學位 ;1963年獲得史丹福大學電機博士學位後進入貝爾實驗室工作,在此工作直到1989年退休;1967年發明了非揮發性記憶體,第一次闡述了快閃記憶體存儲數據的原理技術;1968年回到台灣交通大學擔任董浩雲講座教授一年;1969年編著的《半導體元件物理學》第一版出版;1990年退休後於台灣交通大學電子工程系任教;1994年當選為台灣中央研究院院士;1995年當選為美國國家工程院院士;1998年當選為中國工程院外籍院士;2004年擔任台灣奈米元件實驗室資深顧問 ;2014年受聘為哈爾濱工業大學榮譽教授 。 施敏主要研究微電子科學技術與半導體器件,在電子元件領域做出了基礎性及前瞻性貢獻 。

基本信息

人物經歷

施敏 施敏

1936年3月21日,施敏出生於中國江蘇省南京市,之後隨家人前往台灣,父親施家福在台灣省立台北工業專科學校(現台北科技大學)礦冶工程科任教 。

1957年,畢業於台灣大學電機系,之後赴美留學。1960年,獲得華盛頓大學電機系碩士學位。

1963年,獲得史丹福大學電機系博士學位,博士畢業後,在史丹福大學教授John Moll推薦下進入貝爾實驗室工作,在此工作直到1989年退休 。

1966年夏,施敏在台灣學界的邀請下回到台灣講課,在台灣清華大學暑期舉辦了兩個月的講座 。

1968年,選擇留職停薪,把貝爾實驗室的工作停擺了下來,回到台灣於台灣交通大學擔任董浩雲講座教授一年,在電子研究所開設《半導體元件物理》、《固態電子元件實驗》兩門課程 。

1969年初,以論文《金屬半導體薄膜結構之特性》獲得中山學術著作獎。同年7月參與創辦台灣第一家半導體公司環宇電子股份有限公司,擔任技術顧問,而任職的工程人員包括宏碁集團創始人施振榮 。

1989年,自貝爾實驗室退休。1990年,開始於台灣交通大學電子工程系任教,擔任電子與資訊研究中心主任。1991年,獲得電氣和電子工程師協會電子器件Ebers獎 。

1994年,當選為台灣中央研究院院士(數理組)。1995年,當選為美國國家工程院院士。1998年,當選為中國工程院外籍院士。

1998年,擔任台灣奈米元件實驗室主任(至2004年)。2004年,擔任台灣奈米元件實驗室資深顧問 。

主要成就

科研成就

施敏 演講 施敏 演講

1967年,施敏與韓裔美國人姜大元(Dawon Kahng)休息吃甜點時,用了一層又一層的塗醬,觸動施敏與他二人的靈感,想到在金屬氧化物半導體場效電晶體(MOSFET)中間加一層金屬層,結果發明了非揮發性記憶體(Flash),5月兩人在《貝爾系統科技期刊》(The Bell System Technical Journal)上發表第一篇關於非揮發性記憶體的論文“浮閘非揮發性半導體記憶體細胞元件” ,第一次闡述了快閃記憶體存儲數據的原理技術,隨後由貝爾實驗室取得專利。

1969年,施敏編著的《半導體元件物理學》(Physics of Semiconductor Devices)第一版出版,之後被翻譯成六國文字,被廣泛用作教科書與參考書 。

1970年代,時任台灣經濟部長孫運璿邀請施敏擔任“經濟部發展積體電路計畫工作小組”成員之一,施敏所提出的最關鍵建言,就是力薦孫運璿要推動半導體業 。

20世紀80年代初,施敏首先以電子束製造出線寬為0.15μm MOSFET器件,首先發現崩潰電壓與能隙的關係,建立了微電子元件最高電場的指標 。

主要著作

時間名稱出版社頁數
1969《Physics of Semiconductor Devices》Wiley Interscience,New York812
1981《Physics of Semiconductor Devices 2nd Ed.》Wiley Interscience,New York868
1985《Semiconductor Devices: Physics and Technology》Wiley, New York523
1991《Semiconductor Devices: Pioneering Papers》World Scientific, Singapore1003
1994《Semiconductor Sensors》Wiley Interscience,New York550
1996《ULSI Technology》with C.Y.ChangMcGraw Hill, New York726
1998《Modern Semiconductor Device Physics》Wiley Interscience,New York555
2000《ULSI Devices》with C.Y.ChangWiley Interscience,New York729
2002《Semiconductor Devices: Physics and Technology, 2nd Ed.》Wiley, New York564
2003《Fundamentals of Semiconductor Fabrication》with G.MayWiley, New York305

人才培養

施敏 施敏

1968年,台灣設立工程博士班,施敏擔任首位工程博士候選人張俊彥的論文導師,1970年張俊彥以《金屬半導體接口載子傳導》為論文題目,通過口試成為台灣第一位工程博士 。指導的學生盧超群1999年當選為美國國家工程學院院士 。

2003年以來,施敏在中國內地高校,包括西安交通大學、北京交通大學、東北大學、吉林大學、山東大學、蘇州大學和安徽大學,開設“半導體物理和設備”這門課程,該課程主要是為了培養更多的中國學生參與到半導體設備領域 。

2005年,在上海交通大學開設了一門INTENSIVE COURSE,為期三周共18節課 。

榮譽表彰

時間榮譽/表彰參考資料
1969年中山學術獎
1977年電氣和電子工程師協會(IEEE)會士
1991年IEEE電子器件Ebers獎(J.J. Ebers Award)
1994年台灣中央研究院院士(數理組)
1995年美國國家工程院院士
1997年行政院傑出科技榮譽獎
1998年中國工程院外籍院士
2007年經濟部大學產業經濟終身成就獎
2014年7月工業技術研究院院士
2014年Flash Memory Summit Lifetime Achievement Award
2017年12月IEEE2017年度“尊榮會員”

社會任職

時間擔任職務參考資料
1974年工業技術研究院電子研究所顧問
1976年台灣經濟部發展積體電路計畫工作小組委員
1990年-2006年台灣交通大學特聘講座教授
1998年-2007年工業技術研究院前瞻技術指導委員會委員
2003年-上海交通大學名譽教授
2007年-2010年台灣交通大學榮譽教授
2010年6月-台灣交通大學終身講座教授
2014年5月14日哈爾濱工業大學榮譽教授
2014年6月-台灣科技大學榮譽講座教授
——台灣中山大學榮譽講座教授

人物評價

施敏是國際知名的微電子科學技術與半導體器件專家和教育家,是非揮發MOS場效應記憶電晶體(NVSM)的發明者,在金半接觸、微波器件及次微米金屬半場效應晶體技術等領域都有開創性的貢獻,在電子元件領域做出了基礎性及前瞻性貢獻 。 (2017 IEDM Plenary Awards評)

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