人物經歷
1936年3月21日,施敏出生於中國江蘇省南京市,之後隨家人前往台灣,父親施家福在台灣省立台北工業專科學校(現台北科技大學)礦冶工程科任教 。
1957年,畢業於台灣大學電機系,之後赴美留學。1960年,獲得華盛頓大學電機系碩士學位。
1963年,獲得史丹福大學電機系博士學位,博士畢業後,在史丹福大學教授John Moll推薦下進入貝爾實驗室工作,在此工作直到1989年退休 。
1966年夏,施敏在台灣學界的邀請下回到台灣講課,在台灣清華大學暑期舉辦了兩個月的講座 。
1968年,選擇留職停薪,把貝爾實驗室的工作停擺了下來,回到台灣於台灣交通大學擔任董浩雲講座教授一年,在電子研究所開設《半導體元件物理》、《固態電子元件實驗》兩門課程 。
1969年初,以論文《金屬半導體薄膜結構之特性》獲得中山學術著作獎。同年7月參與創辦台灣第一家半導體公司環宇電子股份有限公司,擔任技術顧問,而任職的工程人員包括宏碁集團創始人施振榮 。
1989年,自貝爾實驗室退休。1990年,開始於台灣交通大學電子工程系任教,擔任電子與資訊研究中心主任。1991年,獲得電氣和電子工程師協會電子器件Ebers獎 。
1994年,當選為台灣中央研究院院士(數理組)。1995年,當選為美國國家工程院院士。1998年,當選為中國工程院外籍院士。
1998年,擔任台灣奈米元件實驗室主任(至2004年)。2004年,擔任台灣奈米元件實驗室資深顧問 。
主要成就
科研成就
1967年,施敏與韓裔美國人姜大元(Dawon Kahng)休息吃甜點時,用了一層又一層的塗醬,觸動施敏與他二人的靈感,想到在金屬氧化物半導體場效電晶體(MOSFET)中間加一層金屬層,結果發明了非揮發性記憶體(Flash),5月兩人在《貝爾系統科技期刊》(The Bell System Technical Journal)上發表第一篇關於非揮發性記憶體的論文“浮閘非揮發性半導體記憶體細胞元件” ,第一次闡述了快閃記憶體存儲數據的原理技術,隨後由貝爾實驗室取得專利。
1969年,施敏編著的《半導體元件物理學》(Physics of Semiconductor Devices)第一版出版,之後被翻譯成六國文字,被廣泛用作教科書與參考書 。
1970年代,時任台灣經濟部長孫運璿邀請施敏擔任“經濟部發展積體電路計畫工作小組”成員之一,施敏所提出的最關鍵建言,就是力薦孫運璿要推動半導體業 。
20世紀80年代初,施敏首先以電子束製造出線寬為0.15μm MOSFET器件,首先發現崩潰電壓與能隙的關係,建立了微電子元件最高電場的指標 。
主要著作
時間 | 名稱 | 出版社 | 頁數 |
1969 | 《Physics of Semiconductor Devices》 | Wiley Interscience,New York | 812 |
1981 | 《Physics of Semiconductor Devices 2nd Ed.》 | Wiley Interscience,New York | 868 |
1985 | 《Semiconductor Devices: Physics and Technology》 | Wiley, New York | 523 |
1991 | 《Semiconductor Devices: Pioneering Papers》 | World Scientific, Singapore | 1003 |
1994 | 《Semiconductor Sensors》 | Wiley Interscience,New York | 550 |
1996 | 《ULSI Technology》with C.Y.Chang | McGraw Hill, New York | 726 |
1998 | 《Modern Semiconductor Device Physics》 | Wiley Interscience,New York | 555 |
2000 | 《ULSI Devices》with C.Y.Chang | Wiley Interscience,New York | 729 |
2002 | 《Semiconductor Devices: Physics and Technology, 2nd Ed.》 | Wiley, New York | 564 |
2003 | 《Fundamentals of Semiconductor Fabrication》with G.May | Wiley, New York | 305 |
人才培養
1968年,台灣設立工程博士班,施敏擔任首位工程博士候選人張俊彥的論文導師,1970年張俊彥以《金屬半導體接口載子傳導》為論文題目,通過口試成為台灣第一位工程博士 。指導的學生盧超群1999年當選為美國國家工程學院院士 。
2003年以來,施敏在中國內地高校,包括西安交通大學、北京交通大學、東北大學、吉林大學、山東大學、蘇州大學和安徽大學,開設“半導體物理和設備”這門課程,該課程主要是為了培養更多的中國學生參與到半導體設備領域 。
2005年,在上海交通大學開設了一門INTENSIVE COURSE,為期三周共18節課 。
榮譽表彰
時間 | 榮譽/表彰 | 參考資料 |
1969年 | 中山學術獎 | |
1977年 | 電氣和電子工程師協會(IEEE)會士 | |
1991年 | IEEE電子器件Ebers獎(J.J. Ebers Award) | |
1994年 | 台灣中央研究院院士(數理組) | |
1995年 | 美國國家工程院院士 | |
1997年 | 行政院傑出科技榮譽獎 | |
1998年 | 中國工程院外籍院士 | |
2007年 | 經濟部大學產業經濟終身成就獎 | |
2014年7月 | 工業技術研究院院士 | |
2014年 | Flash Memory Summit Lifetime Achievement Award | |
2017年12月 | IEEE2017年度“尊榮會員” |
社會任職
時間 | 擔任職務 | 參考資料 |
1974年 | 工業技術研究院電子研究所顧問 | |
1976年 | 台灣經濟部發展積體電路計畫工作小組委員 | |
1990年-2006年 | 台灣交通大學特聘講座教授 | |
1998年-2007年 | 工業技術研究院前瞻技術指導委員會委員 | |
2003年- | 上海交通大學名譽教授 | |
2007年-2010年 | 台灣交通大學榮譽教授 | |
2010年6月- | 台灣交通大學終身講座教授 | |
2014年5月14日 | 哈爾濱工業大學榮譽教授 | |
2014年6月- | 台灣科技大學榮譽講座教授 | |
—— | 台灣中山大學榮譽講座教授 |
人物評價
施敏是國際知名的微電子科學技術與半導體器件專家和教育家,是非揮發MOS場效應記憶電晶體(NVSM)的發明者,在金半接觸、微波器件及次微米金屬半場效應晶體技術等領域都有開創性的貢獻,在電子元件領域做出了基礎性及前瞻性貢獻 。 (2017 IEDM Plenary Awards評)