微晶半導體材料

具有半導體性質的微晶相和無定形相的復相結構薄膜組成的半導體材料。材料的平均大小在數納米至數十納米之間。微晶半導體中有一類特別的材料叫微晶矽。

名稱

微晶半導體材料 【microcrystalline semiconductor】

用途

通常用氣象沉積法、磁控濺射法、非晶矽熱處理法製備，在太陽能電池、感測器和積體電路等領域內套用。