內容簡介
微機電系統技術，是在20世紀80年代後期國際上興起的一項高新技術。本書先由微機電系統入手，然後介紹微弱信號檢測的一些背景知識，重點闡述了微弱信號檢測的方法與技術，以及針對微器件不同的檢測方式，詳述其檢測原理與檢測方法，最後選取典型的微器件介紹了其微弱信號檢測的實用電路。 本書內容翔實，理論聯繫實際，可操作性強，既可作為涉及電子噪聲、低噪聲設計、電磁兼容性、微弱信號檢測的工程技術人員參考讀物，又可作為微電子、自動化、電子工程、物理、生物醫學工程、測試技術與儀器等專業的研究生和高年級本科生教材。
圖書目錄
第1章 微機電系統概述
1.1 微機電系統基本概念
1.2 微機電系統的基本研究內容
1.3 微機電系統的發展及套用
1.4 MEMS弱信號檢測概述
第2章 微弱信號檢測的背景知識
2.1 微弱信號和噪聲性質及分類
2.2 常見的噪聲類型
2.3 噪聲的統計特徵
2.4 噪聲通過電路的回響
2.5 信號噪聲比及信噪改善比
第3章 微弱信號檢測方法
3.1 概述
3.2 低噪聲前置放大器
3.3 濾波技術
3.4 相關檢測技術
3.5 同步積累法
3.6 開關-電容網路
3.7 雙路消噪法
3.8 基於混沌振子的微弱信號檢測
3.9 光子計數器
第4章 MEMS器件微弱信號檢測技術
4.1 電容檢測
4.2 壓阻檢測
4.3 壓電檢測
4.4 隧道檢測
4.5 熱流式檢測技術
4.6 諧振式檢測技術
4.7 光纖式檢測技術
第5章 常用微機電器件的微弱信號檢測電路
5.1 電容式信號檢測電路
5.2 壓阻式信號檢測電路
5.3 壓電式信號檢測電路
5.4 隧道式信號檢測電路
5.5 諧振式信號檢測電路
5.6 光纖式信號檢測電路
5.7 熱流式信號檢測電路
參考文獻
