■適用範圍
西門子法多晶矽還原爐鐘罩(爐筒)內壁的全自動清洗和烘乾。
■工作原理
以高壓水射流為動力,以水力自驅動三維洗罐器為噴頭,形成360°的網狀噴射表面,完成鐘罩內部表面的水力掃射,用專用清洗劑等為主要清洗液,用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,用高純水沖洗,完成清洗過程。
用經過三級淨化(10萬級)的純淨空氣,梯級加熱,最終保證烘乾完的鐘罩不再結露,可直接進入生產作業。
■系統特點
1)PLC+觸控螢幕柔性自動控制系統,實現對還原爐鐘罩的自動清洗和烘乾同時具有半自動或手動功能。
2)可以在一套系統實現多種型號還原爐鐘罩的清洗烘乾。
3)節能、環保、安全:提供了預熱(餘熱蒸汽、餘熱水或油)加熱清洗水及乾燥空氣的方案。全密閉式清洗烘乾系統,基本消除了對現場及操作人員的污染。
■工作流程
還原爐鐘罩到位—預清洗—清洗劑(鹼液)清洗—漂洗—高純水沖洗—淨化熱空氣乾燥—常溫乾燥—鐘罩吊走。
註:清洗劑的選擇對清洗效果和作業安全有直接影響。
■基礎條件
1)電源:380V/50Hz,30KW,電纜引至控制櫃。
2)蒸汽:壓力0.175-0.9Mpa(G),到指定接口點。
3)壓縮空氣:不小於流量3NM3/h,壓力0.6-0.75Mpa(G)(氣動閥、氣缸用氣), 指定接口點。
4)脫鹽水:可提供條件,不小於100L/min,到指定接口點。
5)純水:不小於 100L/min,到指定接點。
6)清洗劑:NaOH清洗液等,不小於2立方米。
7)占地面積:36-80平方米(寬約6-7米,長6-12米
8)三廢處理:洗滌後的含酸或鹼液廢水、廢渣,排放到需方指定處,由需方自行處理,配排污水(池、槽)溝;清洗和烘乾產生的廢氣做室外排空排放。
■設備組成
1)高壓熱水清洗動力裝置1套
由高壓熱水清洗機及附屬檔案(1套),高壓水自驅動三維洗罐器(1套),三維洗罐器升降裝置(氣動,1套)組成。
2)熱風淨化烘乾機組1套
進風淨化等級:10萬級。
3)清洗烘乾工作檯及管道1套
4)電氣控制系統1套。
採用PLC+觸控螢幕全自動控制,全套德高潔版控制軟體。
註:水和風的加熱方式:電加熱,蒸汽、餘熱水或油的熱交換器換熱。
■布置方案
1)一樓布置典型方案。全部設備在1樓清洗間,不防爆。室外取風、室外排風。
2)一、二樓布置
典型方案。清洗烘乾主設備、主控制櫃,在1樓設備間,不防爆;工作檯及遠程控制箱在2樓工作場地。防爆。
3)一、二、三、樓布置,主機一拖二方案。