外差干涉儀

又稱雙頻干涉儀或交流干涉儀。是使用兩種不同頻率的單色光作為測量光束和參考光束。通過光電探測器的混頻，輸出差頻信號（受光電探測器頻響的限制，頻差一般在 100兆赫以內）。被測物體的變化如位移、振動、轉動、大氣擾動等引起的光波相位變化或都卜勒頻移載於此差頻上，經解調即可獲得被測數據的儀器。

外差干涉儀

外差干涉儀的突出優點是：①由於物體變化所產生的都卜勒頻移信息是載於穩定的差頻上，且其頻率較高（幾兆至100兆赫）,因此，光電探測時避過了雷射器的低頻噪聲和半導體器件的1/f噪聲區;又利用頻率跟蹤等外差解調技術大量濾除了寬頻噪聲，因此提高了光電信號的信噪比。例如零差干涉測長儀中，當測量光束受外界干擾光強衰減50％時，就不易正常工作，而外差干涉測長儀則可在光強衰減90％時仍能正常工作，因此能用於生產現場，並能測量較長距離（大於60米）。②可以直接從輸出頻率相對於差頻的增減判別運動的方向，因此可以測量物體的連續變化過程如隨機振動波形，氣流擾動隨時間變化過程，而零差干涉儀較難實現。
外差干涉儀現已廣泛套用於測速、測長、測角、測振、測表面光潔度、測雷射束通過湍流時光束的擾動、提高望遠鏡的視軸瞄準精度以及作自適應光學中的鑒相器等領域，獲得了比零差干涉儀更高的精度。
外差干涉儀中兩種不同頻率的光束可由兩隻穩頻的雷射器提供，也可以利用磁光、電光、聲光效應或鏇轉光柵盤的衍射效應提供。

配圖

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