研究興趣主要在功率電子學和超大規模積體電路工藝兩個方面。曾長期從事功率MOS器件方面的研究,先後參加了包括七五攻關項目、自 然科學基金重點項目在內的六個科研項目的研究工作,完成的科研課題“矩形槽柵功率MOS電晶體”和“高壓器件的電阻場板、鈍化膜與表面橫 向變摻雜終端技術”分別獲電子部科技進步三等獎。從一九九五年十月開始,從事超大規模積體電路工藝研究,重點在積體電路可靠性、超淺 結形成及其工藝模擬、離子注入缺陷和雜質原子的相互作用等方面。有多篇論文在J. Appl. Phys.、Jpn. J. Appl. Phys、The Transactions of IEICE、International Electron Devices Meeting等雜誌和國際會議文集上發表。
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