歷史發展
各地城隍廟城隍是位土地神，根據《禮記》的記載，歲末天子在歲末豐收之後對保佑農 業的八位神靈進行祭拜，也稱作“八臘祭”。所謂“八臘”指的是先嗇（神農氏）、司嗇、農、郵表畷、貓虎、坊、水庸（溝渠）及百種。其中的“水庸”就是“城隍”，《五禮通考》載：“水，隍也，墉，城也”。可見早在三千年前，“城隍”的原型就已經作為保護城市的土地神接受國人的祭祀了。
東漢以後，隨著佛教的傳入，作為中國本土宗教的道教開始模仿佛教的神佛觀念，將仍然在民間活躍的社祭活動，納入道教信仰體系，構建了一個龐大的神仙體系，並最終將“城隍”也收編入內。
相傳三國時代已有供奉城隍的廟觀，“蕪湖城隍祠，建於吳赤烏二（239）年”，可能是中國歷史上最早的城隍廟。南北朝時候的《北齊書·慕容儼傳》已經明確記載：“城中先有神祠一所，俗稱城隍神，公私每祈禱。”
兩晉南北朝時期，由於戰亂，平民百姓流離失所，保護城市的城隍神在人們心中的地位更高了，百姓賦予城隍神的職能，逐漸擴大到主管生人、亡靈、水旱、疾疫、賞善罰惡等，幾乎對城市所有的一切全方位的保護和管理，儼然成為該城市的行政長官。
《太平廣記》唐代，城隍除了保護城池外，還兼管當地的冥籍和水旱吉凶，成了一地陰間的最高神。《太平廣記》描述過一個唐洪州司馬王簡易的魂魄被城隍拘去的故事。換言之，唐代之後的“城隍”在“剪惡除凶，護國保邦”之外的另一個身份，是閻羅王的下屬，閻羅陰司的派出機構的冥官和陰陽兩界（現世尤其是來世）的司法神，他負責所轄地的人死後靈魂最初的審判，然後再送至十殿閻羅處處置。
明代後，城隍的地位上升，這與朱元璋有關係；明太祖是中國歷史上身份最卑微的開國皇帝，起自貧寒而深諳百姓對神鬼之敬畏。他看中道教“益人倫，厚風俗”的社會功能，也想利用城隍 “監察民之善惡而禍福之”，故而對其極為尊崇。
大明開國伊始的洪武元年，朱元璋平定天下後就詔告天下，府、州、縣重建城隍廟，城隍廟也就成為中國惟一由皇帝頒布命令每一座縣級以上的城市必須建造的廟宇。據統計，朱元璋統治時期，全國有城隍廟多達1472座，每一座城市中至少有一座城隍廟。
不僅如此，城隍的品級還要高於人間官吏。大致是京都城隍官級皆正一品；府城隍官級為正二品，州城隍官級為正三品；縣城隍官級為正四品。換句話說，府城隍與朝廷中央六部尚書的官級相等，而縣城隍則與地方知府官級相等。各級官吏在任與離任之時，都要先祭告於城隍，始終受到城隍老爺的“監察”，而城隍則像錦衣衛一樣，隨時監察官吏的一言一行，防止他們橫行。
明代以後，幾乎每位城隍神都有了一位漂亮的夫人，每座城隍廟都增設了一間城隍夫人的臥室，有些城隍廟中還出現了城隍少爺、城隍小姐的塑像，讓城隍老爺神有了一個圓滿的家庭。
明清時代，城隍老爺平日裡的求雨、祈晴、禳災、還願等活動選定吉日在城隍廟舉行。每逢春節和城隍老爺壽辰之日，這裡更變得十分熱鬧，人們從早到晚絡繹不絕，善男信女都會到城隍廟裡來進香禮拜，形成了一種獨特的廟宇文化。
文獻記載
“城隍”一詞，最早可見於《周易》一書，泰卦上六：“城復於隍，勿用師。自邑告命，貞吝”。
《說文》里對“城隍”的解釋是：“城，以盛民也。隍，城池也，有水曰池，無水曰隍。易曰：城復於隍。從阜皇聲。”可見“城隍”一詞本意即城壕，後泛指城牆和城壕。
《五禮通考》載：“水，隍也，墉，城也”。
唐代詩人張九齡在《祭洪州城隍文》中寫到：“城隍是保，氓庶是依”，意思是城和城中的百姓，都要依賴城隍神的保護。
藝術形象
藝術形象蒲松齡《聊齋志異》第一篇《考城隍》，敘述了蒲松齡的姐丈之 祖宋公，病死後入冥司考取河南城隍的故事。《聊齋》中的另一篇小說《胭脂》也描寫了學使施愚山在城隍內審案，利用城隍的威神，賺使兇手毛大自我暴露的故事。
紀曉嵐在他的《閱微草堂筆記》中《槐西雜誌》（一）中提到，城隍神的控馬卒仗勢欺人，為非作歹；社公（城隍的下級）怕得罪城隍，敷衍塞責。顯然城隍的控馬卒就是封建官場奴僕的寫照，而社公就是對封建官員圓滑世故的影射。
袁枚在《子不語·陰間中秋官不辦事》里寫了一個城隍故事，湖北荊州府監利縣舉人羅之芳中進士後一病而歿，一年後的中秋節時，趁其家中請仙時附體而還，說自己在福建浦城縣做城隍，“陰間比陽間公事更忙，一刻不暇。惟中秋一日，例不辦事”，所以趁機回家探望。觀此城隍所為，其心情、其言行簡直跟人世間仕官在外地的人沒有區別。
歷史形象
自宋代開始，城隍開始人格化，多以去世的英雄或名臣奉為城隍神。譬如北京以明嘉靖年間彈劾嚴嵩而被害的楊椒山為城隍神，蘇州以戰國時楚國公室大臣春申君黃歇為當地城隍神，鄭州則以秦末漢初時劉邦的部將紀信為城隍神，莆田抗元英雄陳文龍被封為福州城隍神，抗元英雄陳瓚則被封為興化府城隍神等。
上海城隍廟，一開始供奉的是西漢大司馬霍光，用以鎮伏海潮和海怪。明永樂年間之後，供奉的城隍神則是秦裕伯。八一三淞滬抗戰時期，為了鼓舞士氣，民間又將第一次鴉片戰爭中駐守吳淞口的民族英雄陳化成神像移置入內，與原來的城隍秦裕伯背靠背坐著，從而形成了“一廟三城隍”的景象，以此觀之，陳化成也是中國歷史上最後一位奉為城隍神的人。
