簡介
矽是地球上儲藏最豐富的材料之一，單晶矽也稱矽單晶，是電子信息材料中最基礎性材料，屬半導體材料類。單晶矽主要用於半導體積體電路、二極體、外延片襯底、太陽能電池。為此，我們利用單晶矽的性質製造生產工藝用超純水設備——單晶矽純水機。
工藝流程
●預處理系統-反滲透系統-粗混床-精混床-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統工藝)
●預處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(新工藝)
●預處理-一級反滲透-二級反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)(新工藝)
●預處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥5MΩ.CM)(新工藝)
●預處理系統-反滲透系統-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)(傳統工藝)
●預處理系統-反滲透系統-粗混合床-精密過濾器-用水對象(≥5MΩ.CM)(傳統工藝)
水質標準
國家電子級純水標準
設備要求
為達到符合標準的水質，儘可能地減少各級的污染，延長設備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量。在工藝設計上，取達到國家自來水標準的水為源水，再設有介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床系統(EDI電除鹽系統)等。系統中水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、線上水質檢測控制儀表、電氣採用PLC可程式控制器，具有更高的性價比和設備可靠性。
設備超純化後處理系統
①混床離子交換純化柱
②EDI裝置
③除熱原超濾膜
④紫外線殺菌燈與TOC紫外消解器
⑤終端過濾器
產品型號
VGT-1TRO
單晶矽超純水設備簡介
單晶矽超純水設備 是運用先進的膜分離技術，以及電子離子的EDI技術。反滲透技術中的RO膜是能攔截極細小的雜質，EDI是由膜塊組成靈活方便效率高。設備整體自動化程度高可以無需人工操作，結構合理占地面積少。
單晶矽超純水設備工作程式
單晶矽超純水設備的工作程式主要包括四部分，分別是前處理系統、預處理系統、精緻處理系統、後處理系統。原水通過前處理系統的水箱和水泵，到達3級過濾和軟水器的預處理系統。到達精緻處理系統雙級反滲透和EDI結合，最後到達微孔過濾器的後處理系統。
單晶矽超純水設備特點
單晶矽超純水設備整體採用技術先進的零部件，質量安全可靠易於操作維護方便。設備自動化程度高可以自動關機，具有極強的自我保護功能。採用的是先進的膜保護系統，淡化水可自動將膜面污染物沖洗乾淨來延長膜的壽命。
