人物經歷
1998年畢業於華中理工大學機械製造專業,獲工學博士學位;2000年至2001年赴英國曼徹斯特大學進行為期1年的訪問與客座研究;2002年至2005年在上海微電子裝 備有限公司暨國家光刻工程技術研究中心,從事國家863重大專項“100nm解析度步進掃描投影光刻機”的攻關研製,為該重大專項總體組成員、控制學科總負責人。現任武漢光電國家實驗室(籌)光電材料與微納製造研究部及華中科技大學機械科學與工程學院教授、機械電子信息工程系副主任。
研究方向
從事微機電系統(MEMS)、微納設備與工藝、精密測試與儀器、設備監測與診斷等方面的教學和研究工作。從事圖像模式識別與設備故障診斷方面的研究。
主要貢獻
貢獻
近年來主持了包括國家自然科學基金“基於相似性的時間序列表示與模式發現理論和方法研究”、國家863項目“高深寬比微納深溝槽結構基於模型的紅外反射譜測量方法與設備”、“MEMS動態特性頻閃干涉視覺三維測量技術及系統”和“頻閃干涉視覺三維測量方法與設備”、國家863重大專項子課題“光刻機超精密調焦調平與自動對準系統”和“準分子雷射高性能劑量控制系統”在內的10餘項國家級科研項目。在微納製造與測試技術、100nm解析度步進掃描投影光刻機自主研製、複雜機械設備故障診斷理論與方法等方面開展了卓有成效的研究,取得了一批有影響的研究成果。申請或已授權國家發明專利5項,發表學術論文50餘篇,其中SCI和EI收錄30餘篇。
專利
1. 劉世元, 裴辛哲, 周暢, 陳勇輝. 步進掃描光刻機連續掃描同步控制方法和系統. 專利號: ZL200410066384.3。
2. 劉世元, 陳勇輝, 池峰, 周暢, 韋學志. 步進掃描投影光刻機同步匯流排控制器及同步控制系統. 申請號: 200510023858.0。
3. 劉世元, 陳勇輝, 韋學志, 池峰. 步進掃描投影光刻機的高速同步廣播匯流排及匯流排平台. 申請號: 200520023859.5。
4. 史鐵林, 劉世元, 白金鵬, 謝勇君. 微機電系統動態特性三維測量裝置. 專利號: ZL03241230.4
5. 史鐵林, 白金鵬, 謝勇君, 劉世元, 王海珊. 一種具有環境載入功能的微機電系統動態特性測量裝置. 申請號: 200510018927.9。
論文
1. Shiyuan Liu, Fengshou Gu, Andrew Ball. Detection of engine valve faults by vibration signals measured on cylinder head. Journal of Automobile Engineering, Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part D, 2006, 220(D3): 379-386。
2. Shiyuan Liu, Li Lu, Guanlan Liao, Jianping Xuan. Pattern discovery from time series using growing hierarchical self-organizing map. Lecture Notes in Computer Science, 2006, 4232: 1030-1037
3. Yongjun Xie, Shiyuan Liu, Tielin Shi, Haishan Wang, Wendong Zhang. Measurement system for MEMS dynamics characterization with environmental control facility. Proceedings of 1st IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2006, 1057-1061。
4. 劉世元, 吳小健. 深紫外準分子雷射實時曝光劑量控制算法研究. 光學學報, 2006, 26(6): 878-884。
5. 劉世元, 吳小健. 步進掃描投影光刻機劑量控制參數最佳化新算法研究. 光學學報, 2006, 26(8
家庭): 1192-1197。
6. 易朋興, 劉世元, 杜潤生, 楊叔子. 分散式監測系統可靠性貝葉斯評估. 華中科技大學學報, 2006, 33(3): 42-45。
7. Guanglan Liao, Tielin Shi, Shiyuan Liu, Jianping Xuan. A novel technique for data visualization based on SOM. Lecture Notes in Computer Science, 2005, 3696: 421-426。
8. Yi Pengxing, Yang Shuzi, Du Runsheng, Wu Bo, Liu Shiyuan. Distributed monitoring system reliability estimation with consideration of statistical uncertainty. Chinese Journal of Mechanical Engineering, 2005, 8(4): 519-524。
9. 謝勇君, 劉世元, 史鐵林. MEMS三維動態測試系統的同步控制方法. 儀器儀表學報, 2005, 16(10): 1089-1092。
10. 王峻峰, 史鐵林, 劉世元, 何嶺松. 基於主分量分析的信號白化解相關處理. 中國機械工程, 2005, 16(21): 1954-1956。
11. 廖廣蘭, 史鐵林, 姜南, 劉世元. 基於SOM網路的特徵選擇技術研究. 機械工程學報, 2005, 41(2): 46-50。
12. 易朋興, 杜潤生, 楊叔子, 劉世元. 基於Markov模型的分散式監測系統可靠性研究. 機械工程學報, 2005, 41(6): 143-148。
13. 廖廣蘭, 史鐵林, 來五星, 姜南, 劉世元. 基於核函式PCA的齒輪箱狀態監測研究. 機械強度, 2005, 17(1): 1-514. Guanglan Liao, Shiyuan Liu, Tielin Shi, Guicai Zhang. Gearbox condition monitoring using self-organising feature maps. Journal of Mechanical Engineering Science, Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part C, 2004, 218(C1): 119-129。
15. 劉世元, 江浩. 時間序列相似性概念體系的探討與研究. 華中科技大學學報, 2004, 32(7): 75-77。
16. 劉世元, 江浩. 面向相似性搜尋的時間序列表示方法述評. 計算機工程與套用, 2004, 40(27): 53-59。
17. 廖廣蘭, 史鐵林, 劉世元. 基於非線性映射的特徵提取技術研究. 華中科技大學學報, 2004, 32(12): 54-56。
18. Guanglan Liao, Tielin Shi, Shiyuan Liu. Gearbox condition monitoring based on curvilinear component analysis. Key Engineering Materials, 2003, 245: 249-256。
19. 陳勇輝, 劉世元, 廖廣蘭. 四輥冷帶軋機三倍頻顫振機理的研究. 機械工程學報, 2003, 39(6): 118-123。
20. 胡穎勇, 劉世元, 史鐵林. ADO技術及其在軋機線上監測與故障診斷系統中的套用. 計算機工程與套用, 2003, 39(15): 205-207。
21. 孔文軍, 劉世元, 杜潤生. 神經網路與遺傳算法在傳統化工企業中的套用. 計算機工程,2003。29(17): 193-19422. Shiyuan Liu, Fengshou Gu, Andrew Ball. The on-line detection of engine misfire at low speed using multiple feature fusion with fuzzy pattern recognition. Journal of Automobile Engineering, Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part D, 2002, 216(D6): 391-400
23. Yonghui Chen, Shiyuan Liu, Tielin Shi, Shuzi Yang. Stability analysis of the rolling process and regenerative chatter on 2030 tandem mills. Journal of Mechanical Engineering Science, Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part C, 2002, 216(C12): 1225-1235。
24. 胡穎勇, 劉世元, 史鐵林. 大型軋機主傳動系統線上監測研究. 華中科技大學學報, 2002, 30(10): 26-28。
25. 胡穎勇, 劉世元, 陳勇輝, 史鐵林. 應變扭矩儀測量信號的無線傳輸技術. 感測器技術, 2002, 21(12): 1-3。
26. Shiyuan Liu, Fengshou Gu, Andrew Ball. The modelling of a diesel fuel injection system for the non-intrusive monitoring of its condition. Proceedings of the 14th International Congress on Condition Monitoring and Diagnostic Engineering Management (COMADEM 2001), 2001, 849-856。
27. 劉世元, 杜潤生, 史鐵林, 楊叔子. 汽車發動機各缸工作不均勻性的一種線上監測方法. 中國機械工程, 2001, 12(10): 1154-1158。
獲獎記錄
2006年獲教育部“新世紀優秀人才支持計畫”。