簡介
光掩膜板包含了整個矽片圖形特徵進行1：1圖形複製，這種掩膜板用於比較老的接近式光刻和掃描對準投影機中。光掩膜板的基材一般為熔融石英，在製作過程中要在石英表面濺射一層鉻層，如果石英表面吸附有任何的灰層和雜質都會影響鉻層，鉻層又會直接影響到整塊光掩膜板，光掩膜板上的任何缺陷都會對最終圖形精度產生嚴重的變形，所以光掩膜板必須保持“完美”。想保持完美的光掩膜板必須要藉助超音波清洗機的力量，只有超音波清洗機能做到如此完美，它可以將凹凸不平的石英表面砌底的清潔乾淨，也可讓那些長期住在光掩膜板密密麻麻的微孔里的塵埃大搬家。所以說光掩膜板選用超音波清洗機清洗是在合適不過的方式了。
產品優勢
各槽配備有清洗過程搖動機構，141B溶劑槽備有蒸汽源、定時器、無放調速提稓裝置或氣動提升裝置，不鏽鋼材料、零部件、元器件均優質進口產品特點
該機型是光學/光電行業的專用清洗機。人性化設計，操作及運行更合理。
管路全部採用拋光不鏽鋼管。
超音波功率連續可調多少頻高頻綜合使用。
清洗主槽和汪儲液槽設有獨立過濾系統。
設有拋動清洗裝置與慢拉提升裝置，清洗效果均勻。
清洗、漂洗、脫水、慢拉、乾燥等工藝。
加熱設有自動恆溫系統。
