圖書信息
書名:納米壓印技術
作 者:孫洪文
出版社:電子工業出版社
出版時間:2011年1月1日
ISBN:9787121121999
開本:16開
定價:36.00元
內容簡介
《納米壓印技術》詳細介紹了納米壓印及相關技術的工藝、原理、仿真、套用和展望。納米壓印技術是在納米尺度獲得複製結構的一種成本低而速度快的方法,它可以大批量重複性地在大面積上製備納米圖案結構,而且所制出的高解析度圖案具有相當好的均勻性和重複性。《納米壓印技術》不僅可以供從事微電子、微納加工、納米技術的科技人員參考,也可供化學、生物、醫學、光電子和磁學等領域的科研人員借鑑。同時,《納米壓印技術》深入淺出,通俗易懂,也具有一定的科普價值。
圖書目錄
第1章緒論
第2章納米壓印工藝概述
第3章納米壓印印章製備的新方法
第4章納米壓印結果分析
第5章納米壓印的理論
第6章納米壓印仿真
第7章納米壓印技術的套用
第8章納米壓印技術的發展前景
參考文獻