矽晶體中間隙氧含量徑向變化測量方法

矽晶體中間隙氧含量徑向變化測量方法

作者:本社 社:鳳凰出版社 出版時間:2010-1-1

基本信息

作 者:本社 主編
出 版 社:鳳凰出版社
出版時間:2010-1-1
版 次:1頁 數:6字 數:13000印刷時間:2010-1-1開 本:大16開紙 張:膠版紙

印 次:1I S B N:15506955包 裝:平裝

內容簡介

本標準個性採用semi MF 1188-1105《用紅外吸收法測量矽中間隙氧原子含量的標準方法》。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。

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