麥克風 矽麥克風是通過MEMS技術在矽半導體上蝕刻壓力感測膜片而製成的微型...聲波探測技術主要有電容式、壓電式、壓阻式、光學式、微流式等。 用MEMS...就可以得到對應於加速度的關係。多數加速度感測器是根據壓阻，電容，壓電，熱...
