洗淨技術基礎

內容介紹本書主要介紹了洗淨主體材料的基本性能，廠房淨化技術及原理，高純氣體製備，超純試劑的純化等內容；還著重論述了現有常用洗淨方法和技術，詳述了一些典型洗淨範例，尤其是電子行業的清洗。 通過學習本書可以為掌握現有的洗淨技術和原理，並進一步最佳化和創新新方法、新技術奠定良好的基礎。 本書編寫過程中參考了大量國內外洗淨技術專業資料，著重基本概念的闡述，同時反映近年來洗淨技術領域的新技術、新成果。

內容介紹

本書主要介紹了洗淨主體材料的基本性能，廠房淨化技術及原理，高純氣體製備，超純試劑的純化等內容；還著重論述了現有常用洗淨方法和技術，詳述了一些典型洗淨範例，尤其是電子行業的清洗。同時，也介紹了新型的清洗技術和方法。通過學習本書可以為掌握現有的洗淨技術和原理，並進一步最佳化和創新新方法、新技術奠定良好的基礎。 本書編寫過程中參考了大量國內外洗淨技術專業資料，著重基本概念的闡述，同時反映近年來洗淨技術領域的新技術、新成果。可作為高等院校相關專業教材，也可作為教師、研究生的專業參考書，還可供企業及科研單位的專業技術人員參考。