臭氧分子式1、電暈（空氣法）高壓放電法
電暈放電法產出臭氧的原理是兩個平行的高壓電極之間平行放置一個介電體（通常採用硬質玻璃或陶瓷作介電體也有用不鏽鋼），並保持一定的放電間隙，當在兩極間通入高壓交流電時，在放電間隙，形成均勻的藍紫色電暈放電，空氣或氧氣通過放電間隙，氧分子受到電子的激發獲得能量，並相互方式彈性碰撞，聚合成臭氧分子。電暈法在電暈空氣裡面的氧氣產生臭氧的同時，也電暈了空氣里的氮氣和其他惰性氣體並產生大量毒性很強的高致癌物氮氧化物（NOx）
2、低壓水解法
低壓水解法產出臭氧的原理是採用低壓直流導通固態膜電極的正負兩極點解去離子水，水在特殊的陽極溶液界面上以質子交換的形式被分離為氫氧分子，氫從陰極溶液界面上直接被排放，氧分子在陽極界面上因高密度電流產生的電子激發而獲得能量，並聚合成臭氧。低壓水解法提取臭氧是科學界最領先的臭氧製取科技，製取臭氧的同時副產物為氧氣和氫，不含氮氧化物（NOx）和其他有害物質。
一、 主要兩種方法的區別
低壓水解法臭氧發生器是以純水為原料，是以固態的貴金屬聚合物為電解質，結合陽離子交換模式，通過低壓電解的方式獲得臭氧，不需要任何輔助材料和添加劑，產出的臭氧濃度高達20%以上，產出的臭氧氣體伴隨物為氧，沒有任何二次污染。
而傳統的高壓放電電暈法臭氧發生器，以空氣或氧氣為原料，需要經過多到預處理。並通過1500V左右的高頻高壓放電場才能獲得臭氧，產出的臭氧濃度最高不大於6%，產出的臭氧伴隨物為氮、氧、氮氧化合物和其他雜質，氮氧化合物中的二氧化氮為不分解的有毒致癌物質。
三、臭氧消毒與傳統消毒方式的比較
傳統的滅菌方法主要有三種：一是紫外線滅菌，二是試劑滅菌，三是加熱滅菌。
紫外線以光波輻射作用殺菌：主要問題在於：他穿透能力小，在紫外線照射不到的地方，沒有消毒效果；其殺菌能力隨著使用時間的增加而減小，而且燈管壽命短，更換過於頻繁，運行費用高。
化學試劑滅菌：藥味大，不能自然排出，需要空調長時間置換新風，從而增加了能耗。同時也存在二次污染的問題，剩餘的藥物直接排入大氣，造成對周圍環境的污染。如甲醛熏蒸，操作麻煩，熏蒸時間長，二次污染物嚴重，對人體有一定的危害。
加熱滅菌包括乾熱和濕熱：其缺點是溫度高，能耗大，有的物品如原材料，儀器儀表，塑膠製品等就不宜加熱。
以上方法滅菌方法的弊端是客觀存在的，臭氧能在很多方面彌補上述方法的缺點，這為臭氧滅菌進入諸多行業開闢了通道。
附表：電氧化法與空氣（氧氣）高壓放電式的各項指標及比較
| 低壓水解法 | 電暈放電法 | |
| 原料 | 去離子水（製備工藝簡單） | 空氣、氧氣（製備工藝複雜：需經壓縮機冷凍除濕、吸附乾燥） 空氣為原料，空氣中的氧含量低，獲得O3濃度低 純氧為原料，可以提高O3濃度，但成本高昂 |
| 壓力 | O3生成後會自動從水裡解析出來，根據用途，可常壓也可升壓 | 空氣、氧氣必須加壓並強制通過放電室，否則會損壞電器件（壓力一般在0.4-15kg、cm2） |
| 對室內空氣的影響 | 水在特製膜電極陽極一側失去電子氧化成O3，副產物為O2，無任何雜質氣體，在消毒後的副產物也是O2，不產生任何有害物質，同時增加了室內含氧量 | 以空氣為原料，空氣中78%左右的氮，在高頻高壓電離中生成O3，同時產生對人體和環境有害的氮氧化物（NOx）污染物，在室內消毒使用反而會造成氧含量降低及污染空氣 |
| 濃度 | O3濃度高達20% | O3濃度均不超過2%（空氣原料）與4%（純氧原料）;進口設備濃度可達7% |
| 電源 | 低壓直流，單個發生器工作電壓小於5V，電路簡單、安全 | 高頻高壓、低溫等離子放電器，採用千萬伏高壓電放電技術，電路複雜，安全性差 |
| 噪音與干擾 | 無噪音，無電磁波及其它任何干擾 | 高壓脈衝會產生放電噪音，高頻放電會產生較強電磁波干擾，對周圍的電器設備及儀器、醫療設備造成損壞 |
| 電極工作壽命及環境 | 發生器核心部件為膜電極，在純水工作中屬於非消耗型，電極不受濕度影響，可24小時運行，膜電極運行可達14000小時 | 高壓放電屬消耗型電極，放電狀態受空氣品質及濕度與溫度的影響，O3發生不穩定，不能長時間運行，開機2小時需要停機，（發熱時O3含量大大減少），國產放電管使用壽命較短，進口低溫電漿放電管壽命科大於1500小時 |
