氣動超高真空插板閥

105 150 250

CCQ-A系列氣動超高真空插板閥是用壓縮空氣為動力，通過電磁換向閥改變氣路方向，推動氣缸活塞，驅動閥板作上下運動，實現閥門的開啟或關閉，從而達到在超高真空系統中接通或切斷氣流的目的。適用的工作介質為潔淨的空氣和非腐蝕性氣體。
主要技術性能
適用範圍(Pa)
105～1.3x10-7
閥門漏率(Pa.L/S)
DN≤200為≤1.3x10-7
DN≥250為≤6.7x10-7
閥門烘烤溫度（℃）
≤150(除傳動裝置外)
開閥時閥板兩側壓力差(Pa)
≤2.7x103
氣源壓力（MPa）
0.4～0.6
電源電壓
標準出廠：AC220V/50Hz
特殊指定：AC110V；DC24V；DC12V等
信號反饋
標準出廠：不帶反饋信號
特殊指定：微動開關DC/AC5～240V
連線及外形尺寸
型號
通徑(DN)
ΦD
ΦD0
ΦD1
ΦD2
ΦD3
H
A
n-d
L
L1
B
法蘭標準
CCQ-50A
50
89
72.4
61.6
55.6
/
60
91
8-M8
515
153
62
GB/T6071
CCQ-63A
63
114
92.1
82.6
76.6
/
65
105
8-M8
590
180
62
CCQ-80A
80
130
110
99
93
/
65
130
16-M8
608
220
75
CCQ-100A
100
152
130.2
120.7
114.7
/
70
152
16-M8
655
267
94
CCQ-150A
150
202
181
171.5
165.5
/
70
202
20-M8
707
350
94
CCQ-200A
200
254
231.8
222.3
216.6
/
80
251
24-M8
806
426
112
CCQ-250A
250
314
288
308
275
271
85
300
24-M10
1125
550
112
JB5278
CCQ-300A
300
365
338
353
323
318
90
352
32-M10
1195
613
140
/