定義
通過顯示模組顯示晶片的型號、名稱、邏輯表達式、晶片是否能夠正常工作。或者直接按下自動檢測鍵,也可達到同樣的效果的機器。
使用說明
電源及系統啟動方式
1. 打開設備捲簾蓋。
2. 打開接線板開關,打開藍色穩壓開關。注意:必須待穩壓電源指示燈由紅色變為綠色?電壓穩定後才可進行後續操作,如電壓不穩定就開始操作,很可能損壞設備。
3. 按下圓形綠色ON開關,打開系統總電源。
4. 打開機台右下方的黑色有機玻璃蓋子,按下白色圓形按鈕啟動電腦主機。
5. 按下橙色開關power。
6.打開顯示器開關,啟動PG-2000軟體和PClink軟體。登錄ID: 1, password:1
7.打開顯微鏡左側紅色開關。
樣品檢測操作
1.按下綠色按鈕start,載物盤移出,按下VAC抽真空鍵,真空泵工作。放入晶片,輕觸晶片看是否吸附牢固,確定樣品放置平整,如不平整則會影響檢測結果並損壞探針。
2.晶片放置完畢後再次按下綠色Start鍵,載物盤歸位。
3.選取標準晶片,進行影像學習,設定60%的相似度,可以根據需要自行設定然後點擊搜尋。
4.取任意最近一點,點擊產品設定,選擇自動更新,系統自動顯示出行數、列數以及晶粒間距,點擊產品設定、存儲、名稱、點擊設定名稱,自行輸入名稱後點擊離開。
5.點擊晶圓水平,進行影像的水平調節。
6.點擊影像掃描,系統自動掃描選取樣品。
7.進行接觸檢測,按下UP/DW鍵觀察ES1和ES2指示燈是否亮?亮則說明接觸良好,否則為接觸不良。若接觸不良則需要按下A/Light鍵,打開環形照明燈,從顯微鏡的目鏡中觀察樣品以及針頭位置,調節探針台的XYZ軸旋鈕,使針頭能正確接觸晶片的電極,直到ES1和ES2指示燈點亮。再次按下UP/DW鍵,完成接觸檢測。
8.打開PClink測試連線軟體,用戶名和密碼都是1。進行參數設定,並對檔案進行命名,點擊開始寫檔。
9.回到PG2000系統,點擊開始測試。按下綠色Start鍵,設備開始進行檢測。檢測完成後,按下紅色Abort鍵結束檢測。如果在檢測過程中需要暫停,則按下黃色Pause鍵,暫停結束後若仍需繼續檢測,則按下綠色Start鍵,系統繼續對樣品進行檢測。若暫停後要結束檢測,則按下紅色Abort鍵?系統自動終止檢測。
10.正常檢測完畢,按下紅色Abort鍵,結束檢測。
檢測完成系統關閉過程
1. 所有檢測完成後,若需關閉系統,則首先要關閉PG2000軟體和PClink軟體,再正常關閉計算機。
2. 接著關閉顯微鏡左側紅色開關。
3. 然後關閉橙色POWER開關。
4. 確定系統中所有開關均已關閉後,最後按下紅色OFF鍵關閉系統總電源。
5. 關閉系統過程中,必須按照以上步驟操作,否則極易造成設備損壞。
6. 待系統關閉後,關閉穩壓電源藍色開關,關閉接線板開關。拉下捲簾蓋?檢查無誤後,方可離開。 故障備註:目前設備尚存在一些故障問題,顯微鏡右眼的目鏡是壞的?無法,到樣品,僅能從左眼目鏡進行觀察。
7.進行接觸檢測時,正常情況下按下UP/DW鍵觀察ES1和ES2指示燈是否亮。點亮則說明接觸良好?否則為接觸不良,而目前即使接觸良好?ES1和ES2燈也不亮。對針的時候無法直觀判斷接觸情況,操作難度很大,需要檢修。馬老師說過段時間會有工程師來維修和詳細培訓,維修培訓過後我會對操作手冊進行進一步的完善和修改。