幾何精度
數控工具機的幾何精度反映工具機的關鍵機械零部件（如床身、溜板、立柱、主軸箱等）的幾何形狀誤差及其組裝後的幾何形狀誤差，包括工作檯面的平面度、各坐標方向上移動的相互垂直度、工作檯面X、Y坐標方向上移動的平行度、主軸孔的徑向圓跳動、主軸軸向的竄動、主軸箱沿z坐標軸心線方向移動時的主軸線平行度、主軸在z軸坐標方向移動的直線度和主軸迴轉軸心線對工作檯面的垂直度等。
常用檢測工具有精密水平尺、精密方箱、千分表或測微表、直角儀、平尺、高精度主軸芯棒及千分表桿磁力座等。
1.1 檢測方法：
數控工具機的幾何精度的檢測方法與普通工具機的類似，檢測要求較普通工具機的要高。
1.2 檢測時的注意事項：
（1）檢測時，工具機的基座應已完全固化。（2）檢測時要儘量減小檢測工具與檢測方法的誤差。（3）應按照相關的國家標準，先接通工具機電源對工具機進行預熱，並讓沿工具機各坐標軸往復運動數次，使主軸以中速運行數分鐘後再進行。（4）數控工具機幾何精度一般比普通工具機高。普通工具機用的檢具、量具，往往因自身精度低，滿足不了檢測要求。且所用檢測工具的精度等級要比被測的幾何精度高一級。（5）幾何精度必須在工具機精調試後一次完成，不得調一項測一項，因為有些幾何精度是相互聯繫與影響的。（6）對大型數控工具機還應實施負荷試驗，以檢驗工具機是否達到設計承載能力；在負荷狀態下各機構是否正常工作；工具機的工作平穩性、準確性、可靠性是否達標。
另外，在負荷試驗前後，均應檢驗工具機的幾何精度。有關工作精度的試驗應於負荷試驗後完成。
定位精度
數控工具機的定位精度，是指所測工具機運動部件在數控系統控制下運動時所能達到的位置精度。該精度與工具機的幾何精度一樣，會對工具機切削精度產生重要影響，特別會影響到孔隙加工時的孔距誤差。
目前通常採用的數控工具機位置精度標準是ISO230-2標準和國標GB10931-89。
測量直線運動的檢測工具有：標準長度刻線尺、成組塊規、測微儀、光學讀數顯微鏡及雙頻雷射干涉儀等。標準長度測量以雙頻雷射干涉儀的測量結果為準。迴轉運動檢測工具有360齒精密分度的標準轉台或角度多面體、高精度圓光柵和平行光管等。目前通用的檢測儀為雙頻雷射干涉儀。
2.1 檢測方法（用雙頻雷射干涉儀時）
（1）安裝與調節雙頻雷射干涉儀。
（2）預熱雷射儀，然後輸入測量參數。
（3）在工具機處於運動狀態下對工具機的定位精度進行測量。
（4）輸出數據處理結果。
2.2 檢測時的注意事項：
（1）儀器在使用前應精確校正。
（2）螺距誤差補償，應在工具機幾何精度調整結束後再進行，以減少幾何精度對定位精度的影響。
（3）進行螺距誤差補償時應使用高精度的檢測儀器（如雷射干涉儀），以便先測量再補償，補償後還應再測量，並應按相應的分析標準（VDI3441、JIS6330或GB10931-89）對測量數據進行分析，直到達到工具機的定位精度要求。
（4）工具機的螺距誤差補償方式包括線性軸補償和旋轉軸補償這兩種方式，可對直線軸和旋轉工作檯的定位精度分別補償。
切削精度
檢查工具機切削精度的檢查，是在切削加工條件下對工具機幾何精度和定位精度的綜合檢查，包括單項加工精度檢查和所加工的鑄鐵試樣的精度檢查（硬質合金刀具按標準切削用量切削）。檢查項目一般包括：鏜孔尺寸精度及表面粗糙度、鏜孔的形狀及孔距精度、端銑刀銑平面的精度、側面銑刀銑側面的直線精度、側面銑刀銑側面的圓度精度、旋轉軸轉90°側面銑刀銑削的直角精度、兩軸聯動精度
