掃描質子微探針

【掃描質子微探針】(scanningprotonmicroprobe)縮寫“SPM”。亦稱“質子顯微鏡”，簡稱“質子微探針”。在質子“X”螢光分析基礎上發展起來的一種多元素的痕量分析技術。將入射質子束聚焦成細束，使束流密度提高2-3個數量級。產生的特徵“X”射線用“Si(Li)”探測器進行測量。此法能顯示樣品中所含元素成分的空間分布，藉助電子計算機控制掃描和數據運算。最後由計算機給出各元素在樣品中分布。