多波長干涉

根據干涉理論，對於任意結構的表面，如果用波長為λ 的光波進行測量，被測表面上任一點的深度 h 與測出的位相Φ 之間的關係為(對反射式測量)：2h=mλ+λ/2π·φ。

式中，m是干涉條紋級次，如果h較小，干涉級次m

簡介

根據干涉理論，對於任意結構的表面，如果用波長為λ的光波進行測量，被測表面上任一點的深度h與測出的位相Φ之間的關係為(對反射式測量)：

多波長干涉

多波長干涉

式中，m是干涉條紋級次，Φ是測得的位相且 。

如果h較小，干涉級次m