一、簡介
氣體純化指標達到各項雜質含量小於1ppb的世界先進水平,尤其在工業氣體分析色譜上面有廣泛套用。
二、技術參數
1、純化氣體:He 、NE 、Ar 、Kr 、Xe;
2、雜質的去除:H2O、H2、O2、N2、 CO、CO2、CH4;3、其它雜質去除:Nox、NH3、CF3、CH4、SiH4;
4、不被去除的雜質:He、Ne、Ar、Kr、Xe;
5、推薦操作溫度:350℃;
6、需要激活時間:1小時;
7、激活溫度:450℃;
8、雜質去除整體水平:<0.1ppm;
9、推薦最大工作壓力:80大氣壓;
10、建議最大流量:0-500mL/min,2-10ml/min;
11、電源要求:500W,240V。
三、套用領域
廣泛套用於電子,化工,食品,醫藥產業中超高純度氣體的製造,分析和套用。