半導體製程設備

乾蝕刻機第8章蒸鍍機第9章濺鍍機第10章

作品目錄

第1章晶體成長和晶圓製作
第2章磊晶沉積設備
第3章微影照相設備
第4章化學氣相沉積爐
第5章氧化擴散高溫爐
第6章離子植入機
第7章乾蝕刻機
第8章蒸鍍機
第9章濺鍍機
第10章化學機械研磨

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