加速微小型化

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加速管

加速管是加速器的關鍵部件，它把從電子槍注入的電子在微波電場作用下加速到高能，最後打靶產生高能X射線。
基本要求基本結構與光學特性幾種高梯度加速管加速管的鍛鍊行波加速管
加速感測器

加速度感測器是一種能夠測量加速力的電子設備。加速度感測器甚至可以用來分析發動機的振動。對於多數項目來說，兩軸的加速度感測器已經能滿足多數套用了。
壓阻式應變加速度感測器簡介加速度感測器原理加速度感測器的套用加速度感測器形式
微機械

微機械是指利用半導體技術（特別是平板印製術，蝕刻技術）設計和製造微米領域的三維力學系統，以及微米尺度的力學元件的技術。它開闢了製造集成到矽片上的微米感測...
概述發展情況結構及意義微機械引發的商業化浪潮未來發展趨勢

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