光點定向

光點定向

所謂光點定向,就是利用矽單晶結晶結構所具有的巨觀對稱性,把矽晶體某晶面進行研磨,擇優腐蝕等一系列恰當處理﹐使晶面上出現許多小的腐蝕坑﹐這些小坑都是由一些規則排列的低指數原子小平面所圍成﹐並且不同晶向生長之矽單晶﹐它們的原子小平面就有不同的巨觀對稱性。

所謂光點定向,就是利用矽單晶結晶結構所具有的巨觀對稱性,把矽晶體某晶面進行研磨,擇優腐蝕等一系列恰當處理﹐使晶面上出現許多小的腐蝕坑﹐這些小坑都是由一些規則排列的低指數原子小平面所圍成﹐並且不同晶向生長之矽單晶﹐它們的原子小平面就有不同的巨觀對稱性。當一束平行光入射到小坑時﹐就被這些小平面反射到不同方向上去。如果用光屏擋住這些反射線﹐就在光屏上出現晶體的光象﹐這種光象也具有一定的巨觀對稱性。通過對晶體光象對稱性的測量﹐不但可以確定晶體的生長方向﹐而且可以測定晶體的晶向偏離度﹐從而保證按一定方向切片。由於光象上幾條對稱分布線反映了入射方向的晶體具有幾次對稱軸。這樣就通過光象圖反過來證明晶體的內部結晶構造

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