人物生平
薛曜為薛元超長子，褚遂良乃其舅祖，生平事跡，史記不詳。
可知者為王勃文友。鹹亨初年，曾與之游於四川錦州，王勃有送別詩二首記其事。萬歲登封年間(696)，任春宮郎中(禮部郎中)。神功年間(697)，改正議大夫，與再從弟中書舍人薛稷並以辭學知名朝野。聖歷二年(699)，為奉宸大夫，與天下名士李嶠、員半千、閻朝隱、沈銓期、徐堅、張說、劉知幾、宋之問、富嘉謨等二十六人共撰《三教珠英》，凡 1300卷。久視元年(700)五月十五日，侍從武則天游幸登封石淙山，應制《奉和聖制夏日游石淙山詩》，並奉敕正書武后與諸侍從大臣的唱和詩。其後行蹤無考，或即卒於長安末年(703—704)。河南登封所立《封祀壇碑》，遒密有致，為其代表作。
薛曜與薛稷同一師承，書學褚遂良，瘦硬有神,用筆細勁,結體疏朗，但較褚書險勁，更纖細，在當時享有大名，被後人評為“瘦金體之祖”（宋徽宗趙佶真書學薛曜，自創“瘦金體”）。他對褚書不作亦步亦趨的模仿，而是加以發揮，有所創造，然亦成習氣，為褚書末流。
軼事典故
《夏日游石淙詩並序》是薛曜的代表作，為“石淙河摩崖題記”之一。“石淙河摩崖題記”，唐久視元年（700年）三月十九日刻。高3.7米，寬3.7米，楷書，39行，行42字，為河南省最大的摩崖碑刻，分為《夏日游石淙詩並序》和《秋日宴石淙序》兩部分。唐大周聖歷三年（700年）夏季，武后則天率群臣巡遊中嶽嵩山，登封峻極後，避暑石淙河，曾在水漂石上大宴群臣。武則天即興作詩一首《夏日游石淙》，命從臣16人奉和詩名為《侍游應制》，武則天又作序《夏日游石淙詩並序》，命薛曜書寫，讓工匠刻於崖壁上。16位從臣是：李顯、李旦、武三思、狄仁傑、張易之、張宗昌、李嶠、騫味道、姚元崇、閻朝隱、崔融、薛曜、徐彥伯、楊敬述、於季子和沈佺期。武則天在此宴請群臣一事，兩唐書武后本紀失載，此碑可補其闕。詩作已收入《全唐詩》，刻本文字稍異，以碑刻為是。《秋日宴石淙序》，張易之撰文。內容主要描繪石淙河的山水景物。二者的書者皆為薛曜，其書法瘦勁奇偉， 被歷代書家稱為“宋徽宗瘦金體之祖”，存世作品極少，因而十分珍貴。
清人葉昌熾《語石》有評“ 觀《石淙序》，其轉折之處運筆太重，如黛乾霜皮，礧砢多節，又如側出之水竹箭，奔騰至千里，一曲之處，忽搏而過顙，不免捉衿肘見矣。余謂必欲學曜書，尚不如《封祀壇銘》，不失河南三龕矩鑊。”
個人作品
登綿州富樂山別李道士策
珠闕崑山遠，銀宮漲海懸。送君從此路，城郭幾千年。
雲霧含丹景，桑麻覆細田。笙歌未盡曲，風馭獨泠然。
舞馬篇
星精龍種競騰驤，雙眼黃金紫艷光。一朝逢遇昇平代，
伏皂銜圖事帝王。我皇盛德苞六宇，俗泰時和虞石拊。
昔聞九代有餘名，今日百獸先來舞。鉤陳周衛儼旌旄，
鍾鎛陶匏聲殷地。承雲嘈囋駭日靈，調露鏗鈜動天駟。
奔塵飛箭若麟螭，躡景追風忽見知。咀銜拉鐵並權奇，
被服雕章何陸離。紫玉鳴珂臨寶鐙，青絲彩絡帶金羈。
隨歌鼓而電驚，逐丸劍而飆馳。態聚足甫還急，驕凝驟不移。
光敵白日下，氣擁綠煙垂。婉轉盤跚殊未已，
懸空步驟紅塵起。驚鳧翔鷺不堪儔，矯鳳回鸞那足擬。
蘅垂桂裛香氛氳，長鳴汗血盡浮雲。不辭辛苦來東道，
只為簫韶朝夕聞。閶闔間，玉台側，承恩煦兮生光色。
鸞鏘鏘，車翼翼，備國容兮為戎飾。充雲翹兮天子庭，
荷日用兮情無極。吉良乘兮一千歲，神是得兮天地期。
大易占雲南山壽，走參走覃共樂聖明時。
奉和聖制夏日游石淙山
玉洞幽尋更是天，朱霞綠景鎮韶年。飛花藉藉迷行路，
囀鳥遙遙作管弦。霧隱長林成翠幄，風吹細雨即虹泉。
此中碧酒恆參聖，浪道崑山別有仙。
正夜侍宴應詔
（《英華》作正月望夜上陽宮侍）
重關鐘漏通，夕敞鳳凰宮。雙闕祥煙里，千門明月中。
酒杯浮湛露，歌曲唱流風。侍臣鹹醉止，恆慚恩遇崇
邙山古意
昔掩佳城路，曾驚壑易遷。今接宜都里，翻疑海作田。
鏤鼎名應大，生金字不傳。風飆吹白日，羅綺拭黃泉。
象鳳笙留國，成龍劍上天。長樂移新壟，鹹陽失舊阡。
川流徒漫漫，神理竟綿綿。佇見飛來鶴，沈嗟不學仙。
九城尋山水
菊浦桃源瞰九城，鸞歌鳳嘯忽將迎。千岩雜樹雲霞色，
百道流泉風雨聲。上客由來軒蓋重，幽人自覺薜蘿輕。
疑是昔年棲息地，山中日暮有餘情。
送道士入天台
洛陽陌上多離別，蓬萊山下足波潮。
碧海桑田何處在，笙歌一聽一遙遙。
子夜冬歌
朔風扣群木，嚴霜凋百草。
借問月中人，安得長不老。
家族成員
曾祖：薛道衡(540—609)，字玄卿，隋內史侍郎，為當時名士，不僅以詩著名，有“才傑”之譽，書法也見稱於史，《宣和書譜》記其《和南》正書，“非泯泯眾人之筆也”，參其書有《爾朱敞碑》(開皇五年十月)，當也是一位善書人。
祖父：薛收(592--624)，字伯褒，隋名儒王通的及門弟子，為“河東三鳳”之一，史稱薛收為長離，其族兄德音為鸑鷟，侄元敬最年少，為鵷雛。入唐，以文學受知於秦王李世民，官至天策府記室，兼任弘文館學士。
父親：薛振(622—683)，字元超，以字行，襲爵汾陰男，尚和靜縣主，官至中書令。以薦引寒士、獎掖後進為一代文宗，唐初文士大都出自他的門下，諸如文壇四傑之一楊炯、文章四友之一崔融，都是由於他的引薦而聲名天下的。
弟弟：有弟二人：薛毅，官至太子舍人；薛俊，官至慈州刺史。特別重要的是，不管是按照西安碑林的資料顯示，還是按照薛瓘，薛曜，薛紹三人的經歷判斷，都可以確定薛瓘，薛曜不可能是同一人。薛瓘是薛曜的叔伯父、薛元超的堂兄弟。也就是說薛曜與薛稷，薛顗，薛紹等人的堂兄弟。
