原理
高頻高壓加速器高頻高壓加速器安放在密封鋼筒內，裡面充以高壓絕緣氣體（如SF）鋼筒內壁安放有兩個半圓筒形的高頻電極，它的所有分壓環都分成兩個半環，互相絕緣。它的分壓環除起分壓作用外，還分別與高頻電極組成藕合電容，起藕合高頻電壓的作用，在半圓分壓環之間，交替連線有整流器，兩個高頻電極連在數百千周/秒的高頻振盪器上，高頻功率通過分壓環與高頻電極間的禍合電容輸送到各個整流器上，整流後，就有直流電流通過。在高頻電壓的作用下，電子從一側的半圓分壓環向另一側半圓分壓環運動，
當高頻振盪器的左側為負電位時，電子從左側半分壓環（a'、b'、c'...）向右側的半分壓環（a、b、c...）運動；當左側為正電位時，電子向左側半分壓環（a'、b'、c'...）運動但這時並不是返回原來的半分壓環，而是向電壓較高的分壓環運動，即從a向b'運動、b向c'運動。這是因為aa'、bb'...之間的整流器不允許電子反向運動。就這樣逐步地把電子輸送到高壓電極，使它獲得負高電壓。如果要獲取正高壓，整流器的連法要和圖示的相反。
特點
這種高頻高壓加速器不需要較大的儲能電容器，電壓雖然很高，儲能並不多，和靜電加速器相似。即使發生擊穿，瞬間功率不大，不會造成嚴重的損壞。高頻高壓加速器沒有轉動部件，工作穩定可靠，維修簡單，最大輸出電流很大，是工農業生產、醫療衛生方面使用很廣的低能加速器。
規格
這種加速器的輸出電流可達10毫安，商品生產的規格有：1兆伏、1.}兆伏、2兆伏、3兆伏、4兆伏等，多用來加速電子，在生產中使用.也可用來加速質子或其他重離子，並可作成串列式加速器，以提高極限能量。
目前，串列式高頻高壓加速器能把質子加速到10兆電子伏，流強150微安。
