金屬·電介質膜立方體半反射鏡由兩塊直角稜鏡組成,其中一塊的斜面上鍍了金屬·電介質多層混合反射膜。 半反射鏡把入射光按1:1的比例等分為反射光和透過光。 在入射面和出射面,鍍了防反射多層膜。 金屬·電介質多層混合膜與鉻膜相比,吸收小,減少了輸入光量的損失。與電介質多層膜相比對偏光狀態的依存性小。 不象平板分光鏡,立方體分光鏡幾乎不發生光軸偏移和重影現象。