1.前言
該清洗液廣泛套用於化學機械拋光、刻蝕、沉積以及其它保護步驟中，該清洗液降低了對後續工藝的干擾，大大降低了金屬材料的表麵點蝕，減低了表面腐蝕程度。從而降低了缺陷，提高了清洗效率和產品優良率，增加了收益率，大大改善了金屬表面的平坦度質量。2.介紹
2.1基礎配方
將一定分量的各組分（有機羧酸化學添加劑（0~5）、有機膦酸化學添加劑（0~0.5）、有機磺酸化學添加劑（0~1）、胺基酸化學添加劑（0.5~5）、聚合物金屬防腐抑制劑(10~5000mg/L)、含氮雜環化合物（0~1）、載體加至100混合均勻即可。2.2常見組分及機理
1）絡合劑：一般選用氨基羧化合物及其鹽、有機羧酸及其鹽、有機膦酸及其鹽的一種或多種。有機羧酸為檸檬酸、草酸、酒石酸、琥珀酸或馬來酸中的一種或多種混合物；有機膦酸為烷基膦酸、苯基膦酸、1-羥基乙烯基-1,1-二膦酸、亞甲基磷酸、乙烯基二胺-4-亞甲基磷酸、環丁烷基三胺-5亞甲基膦酸或多氨基多醚基四亞甲基膦酸中的一種或多種的組合；有機磺酸為甲基磺酸、乙基磺酸、二甲基磺酸或丁基磺酸內酯的一種或多種的組合；含氮胺基酸為甘氨酸、丙氨酸、亮氨酸、異亮氨酸、胱胺酸、半胱氨酸、甲硫氨酸、蘇氨酸、絲氨酸、苯丙氨酸、色氨酸、谷氨酸、天門冬氨酸、賴氨酸、中一種或多種。2）防腐抑制劑：該清洗液中運用聚合物金屬防腐抑制劑為聚丙烯酸類化合物、丙烯酸類化合物與苯乙烯的共聚化物、丙烯酸類化合物與順丁烯二酸酐的共聚化合物、丙烯酸類化合物與丙烯酸酐類的聚化合物、膦醯基羧酸共聚物、中一種或多種；相對分子量為2000~3000000.其中較好的是相對分子量在5000~30000的聚丙烯酸。
2.3使用工藝
1）壓力1.0~2psi、拋光碟的轉速50~70r/min、拋光頭轉速70~90r/min、拋光液流速200~300ml/min、拋光時間1~2min;2)然後在壓力1.5psi、拋光碟的轉速25r/min、拋光頭轉速25r/min，使用本清洗液，流速300ml/min、拋光時間0.5~1min;
3)用清洗液及聚乙烯醇滾刷對晶片表面進行刷洗2min,滾刷轉速為300r/min,清洗頭轉速280r/min,清洗劑液流量300 ml/min;
4）再用去離子水及PVA滾刷刷洗2min，滾刷轉速為300r/min，清洗頭轉速280r/min，去離子水流量300ml/min.
3.參考配方
參考配方1
成分 | 投料比 | 成分說明 |
檸檬酸 | 1~2 | |
苯基膦酸 | 0~0.5 | |
二甲基磺酸 | 0~1 | |
甲硫氨酸 | 0~0.05 | |
聚丙烯酸 | 100ml | |
水 | 加至100 |
參考配方2
成分 | 投料比 | 成分說明 |
草酸 | 2~4 | |
丙烯酸甲酯與丙烯醯胺的星型共聚物 | 2~4 | Mn=3000 |
二丙二醇甲醚 | 1~3 | |
水 | 加至100 |
4.常見金屬清洗劑
金屬油污清洗劑、鋁材清洗劑、超音波清洗劑、水基清洗劑、無磷清洗劑、發動機清洗劑、汽車清洗劑、電解脫脂劑、無磷脫脂劑、中性脫脂劑、鋁酸脫脂劑、鋼鐵脫脂劑、水性脫脂劑、化學脫脂劑、除油王、常溫除油劑、鹼性除油劑、不鏽鋼除油劑、超音波除油劑、金屬除油劑、酸性除油劑、電解除油粉、高溫除油粉、無磷除油粉、化學除油粉。
