人物經歷
1987 年畢業於天津大學電力及自動化系。1993 年3 月在中國科學院研究生院獲碩士學位。1993 年4 月至1996 年8 月在中國科學院電工研究所任助理研究員、永磁磁體研究組副組長。1996年9月至2002年在美國威斯康星大學麥迪遜分校電氣與計算機工程系學習微電子與固態專業,獲博士學位。2002年6月至2005年8月在美國康奈爾大學電氣與計算機學院任博士後研究員。2005年9月任廈門大學薩本棟微機電研究中心副教授,2008年7月破格晉升為教授。研究方向微機電系統MEMS、微納電子技術與套用電子技術,涉及可植入醫學微器件、超聲技術、微型手術器械、微能源技術、生物晶片技術、感測器製造與測量控制技術、射頻電子技術、生物醫學器件與裝備等。目前主持承擔了國家863項目、國家自然科學基金、福建省自然科學基金與重大科技項目等多項研究。
主要貢獻
學術兼職
1.IEEE會員。
2.美國聲學會會員。
3.中國儀器儀表學會微納器件與系統分會理事。
4.中國儀器儀表學會感測器分會理事。
5.中國微米納米技術學會會員。
6.中國電工技術學會會員。
7.中國生物醫學工程學會會員。
學術評審
1.IEEE/ASME Journal of MEMS, Reviewer。
2.Journal of Micromechanics and Microengineering, Reviewer。
3.中國科學E緝,評審。
4.感測技術學報,評審。
學術會議
1.2006年第一屆IEEE國際微/納米工程與分子系統(IEEE NEMS會議)分會主席。
2.2006年第三屆壓電聲波理論與器件技術研討會分會主席。
3.2007年第二屆IEEE國際微/納米工程與分子系統(IEEE NEMS會議)分會主席。
4.2008年第九屆國際固態與積體電路技術會議技術委員會委員。
5.2008年第三屆壓電聲波理論與器件技術研討會技術委員會委員、分會主席。
6.2009年第四屆IEEE國際微/納米工程與分子系統(IEEE NEMS會議)分會主席與第二屆美新杯全國微納米技術套用大賽評審。
7. 2010年第五屆IEEE國際微/納米工程與分子系統(IEEE NEMS會議)技術委員會共同主席(Co-Chair)。
主要科研項目
1. MEMS 技術在超聲領域的套用,包括生物顆粒的超聲分離、藥物的超聲輸運與釋放、微型超聲手術器械、微納米超聲檢測感測器及系統 。
2. 微納米感測器,包括傳統的MEMS 感測器與驅動器,以及基於碳納米管、矽及ZnO 納米線等的用於生物檢測的納米感測器。
3. 微能源裝置,主要研製基於不同原理的毫瓦級微型核電池以用於各種MEMS 與納米裝置及其系統中。
4. 微型原子鐘,包括套用MEMS技術製造的物理部分與套用RF CMOS技術製造的積體電路的設計、製造與測試。
5. 微型感測器網路,用於戰場檢測、野外環境監測、人體體內植入式微器件的環境監測。
6. 微型及小型核磁共振成像系統(MRI), 包括微小型化的主磁體、梯度的設計與製造(傳統製造與MEMS製造),以及套用MEMS技術製造的探頭及其控制電子線路部分。
獲獎記錄
1.1994年中國科學院電工研究所第一屆青年科學家論文報告會最佳論文報告獎。
2.1995年中國科學院電工研究所先進工作者。
3.1998年AMS磁體國家科技進步二等獎(主要研製者)。
4.2006年度何宜慈講座教授獎教金。
5.2007年度何宜慈講座教授獎教金。
6.2007年度教育部新世紀優秀人才。