熱陰極高頻濺射

熱陰極高頻濺射（三極型濺射）hotcathodehighfrequencysputtering：藉助於熱陰極和陽極獲得非自持氣體放電，氣體放電產生的離子，在靶表面負電位的作用下加速而轟擊靶的濺射。