超純水簡介:
超純水:既將水中的導電介質幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大於18MΩ*cm,或接近18.3MΩ*cm極限值。 超純水,是一般工藝很難達到的程度,採用預處理、反滲透技術、超純化處理以及後級處理四大步驟,多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法,電阻率方可達18.25MΩ*cm 超純水是美國科技界為了研製超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)套用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水,這種水中除了水分子(H20)外,幾乎沒有什麼雜質,更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物,當然也沒有人體所需的礦物質微量元素,一般不可直接飲用,對身體有害,會析出人體中很多離子。
超純水設備產生的起因:
新興的光電材料生產、加工、清洗;LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏、高品質燈管顯像管、微電子工業、FPC/PCB線路板、電路板、大規模、超大規模積體電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。積體電路的集成度越高,對水質的要求也越高,這也對超純水處理工藝及產品的簡易性、自動化程度、生產的連續性、可持續性等提出了更加嚴格的要求。
超純水工藝流程:
1.預處理----復床 ----混床---拋光樹脂 2.預處理----反滲透---混床---拋光樹脂 3.預處理----反滲透----EDI膜塊----拋光樹脂
國家實驗室分析用水標準:
中國國家實驗室分析用水標準(GB6682-92)《分析實驗室用水規格和實驗方法》: 指標名稱 一級水 二級水 三級水 1級水>10MΩ;2級水>1MΩ;3級水>0.2MΩ PH值範圍(25℃) - - - - 5.0-7.5 比電阻MΩ.cm@25℃> 10 1 0.2 電導率(25℃)us/cm≤ 0.1 1 5 可氧化物[以O計]mg/L -- 0.08 0.40 吸光度(254nm,1cm光程)≤ 0.001 0.01 -- 二氧化矽(mg/L) 0.02 0.05 -- 蒸發殘渣(mg/L) -- 1.0 2.0
主要用途:
純度極高的水。積體電路工業中用於半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的製備和矽片氧化用的水汽源等。此外,其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的製作也都要使用超純水。超純水是指下列雜質含量極低的水:①無機電離雜質,如 Ca、Mg、Na、K、Fe、Fe、Mn、Al、HCO婣、CO婣、SO嬄、Cl、NO娛、NO婣、SiO婣、PO等;②有機物,如烷基苯磺酸、油、有機鐵、有機鋁以及其他碳氫化合物等;③顆粒,如塵埃、氧化鐵、鋁、膠體矽等;④微生物,如細菌、浮游生物和藻類等;⑤溶解氣體, 如N2、O2、CO2、H2S等。超純水中電離雜質的含量用水的電阻率數值來衡量。理論上,純水中只有H離子和OH離子參加導電。在25℃時超純水的電阻率為 18.3(兆歐·厘米),一般約為15~18(兆歐·厘米)。 超純水中有機物含量由測定有機物碳含量而定,電子工業超純水中規定含量為50~200微克/升,並要求直徑大於1微米的顆粒性物質每1毫升內含量為1~2個,微生物每1毫升為0~10個。現代採用預處理、電滲析、紫外線殺菌、反滲透、離子交換、超濾和各種膜過濾技術等,使超純水的電阻率在25℃時達到18(兆歐·厘米)。 依各種原水水質和用戶要求的不同,超純水的製備工藝大體可分為預
超純水超純水 處理、脫鹽和精處理三步。 預處理 包括砂濾、多介質過濾、軟化、加氯、調節pH、活性碳過濾、脫氣等。過濾可除去 1~20微米大小的顆粒,軟化和調節pH可防止反滲透膜結垢,加氯是殺菌。活性碳過濾是除去有機物和自由氯,脫氣是清除溶於水中的CO2等。 脫鹽 包括電滲析、反滲透、離子交換。電滲析的原理是在外加直流電場作用下利用陽離子和陰離子交換膜對離子選擇性透過,脫鹽率可達95%以上。反滲透是滲透現象的逆過程,在濃溶液上加壓力,使溶劑從濃溶液一側通過半透膜向稀溶液一側反向滲透,脫鹽可達98%,並能除去99%的細菌顆粒和溶解在水中的有機物。離子交換的原理是當水通過陽離子交換樹脂時,水中的陽離子被陽離子交換樹脂吸附,樹脂上可交換的陽離子如H離子被置換到水中,並和水中的陰離子結合成相應的無機酸,如超純水
超純水 這種含有無機酸的水,當下一步通過陰離子交換樹脂層時,水中的陰離子被陰離子交換樹脂吸附。樹脂上可交換的陰離子如OH離子被置換到水中,並與水中的H離子結合成水,即超純水
超純水 精處理 包括紫外線殺菌、終端膜過濾和超濾。紫外線殺菌是因生物體的核酸吸收紫外線光的能量而改變核酸自身結構,破壞核酸功能而使細菌死亡。殺菌最強的光譜波長為2600埃。各種膜過濾能除掉直徑大於 0.2微米的顆粒,但對於清除有機物則不如反滲透和超濾有效。超濾是把各種選擇性的分子分離。在超濾過程中,水在壓力下流過一個卷式或中空纖維膜棒。膜孔徑在10~200埃範圍內,薄膜厚度為0.1~0.5微米,附在一個中孔的纖維棒內壁上,超濾能除去細菌和0.05微米的粒子。
套用場合:
☆電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗 ☆電子管生產、電子管陰極塗敷碳酸鹽配液 ☆顯像管和陰極射線管生產、配料用純水 ☆ 黑白顯像管螢光屏生產、玻殼清洗、沉澱、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水 ☆液晶顯示器的生產、屏面需用純水清洗和用純水配液 ☆電晶體生產中主要用於清洗矽片,另有少量用於藥液配製 ☆ 積體電路生產中高純水清洗矽片 ☆半導體材料、器件、印刷電路板和積體電路 ☆LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏 ☆高品質顯像管、螢光粉生產 ☆半導體材料、晶元材料生產、加工、清洗 ☆超純材料和超純化學試劑、超純化工材料 ☆實驗室和中試車間 ☆汽車、家電錶面拋光處理 ☆光電產品、其他高科技精微產品 1.預處理----復床 ----混床---拋光樹脂 2.預處理----反滲透---混床---拋光樹脂 3.預處理----反滲透----CEDI膜塊----拋光樹脂