工業上有各種各樣的真空泵，對於各種泵的性能都有規定的測試方法來檢驗，主要參數有：
1、極限真空（通常稱為真空度）：將真空泵與檢測容器相連，放入待測的氣體後，進行長時間連續抽氣，當容器內的氣體壓力不再下降而維持某一定值時，此壓力稱為泵的極限真空。該值越小則表明越接近理論真空。
真空圖普通真空表測得的真空值（即：表壓）為相對真空度，用負數表示，是指被測氣體壓力與大氣壓的差值。可以由下圖看出。
2、抽氣速率：在真空泵的吸氣口處，單位時間內流過的氣體體積。
傳統工業用真空泵體積普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和潤滑機油，介質氣體內會含有大量油霧。
隨著儀器儀表工業的發展以及人們對環保的要求，各國的微型無油真空泵應運而生，普遍有以下規律： 泵的價格和真空度指標密切相關。
真空度指標是各國生產商努力追求的主要指標，它反應了相應的機械加工、密封技術、材料科學等領域的整體實力，也是生產商獲取利潤的重要手段。要提高真空度指標，就必須有更高的密封條件，因此就需要採用尺寸更精確、材料性能更優異的零部件，於是生產成本就大幅度提高了。而且價格的增幅遠遠大於真空度指標的增幅。當然，抽氣速率的提高也會引起價格的攀升，但其增幅不大。因此，選擇微型真空泵時需要認真考慮真空度指標、抽氣速率指標、自己的使用情況等（更多資料可參見這裡），這樣才能最好地兼顧使用性能和成本。
高真空度的微型泵由於採用了非常精密的密封零件，因此它對工作環境的清潔條件、溫度參數、介質成分等均有更高的要求。
振動和噪音。泵的抽氣速率和真空度越高，振動和噪音也越大。
