工藝整合工程師

工藝整合工程師(PIE,Process Integration Engineer),是半導體工業中的一種崗位名稱,主要負責提升工藝技術、提升產品質量,整合諸多個部門資源等。 PIE是一個Fab的靈魂人物,因為一個合格的PIE對生產線每個環節都懂,他不一定懂得怎么解決一個突發的棘手事件,但是知道與誰合作可以解決問題。

定義

PIE:Process Integration Engineer。

也有叫PEI,顛倒一下後面兩個單詞而已,中文:工藝整合工程師或者製程整合工程師。

職責

主要負責提升工藝技術、提升產品質量,整合諸多個部門資源等。需要非常熟悉半導體產品的設計、製作工藝、測試流程等,通常了解半導體製造領域的所有工序工藝。

PIE的本質在於,通過WAT電性能參數異常,追溯回去,找到生產線上的異常,並與相關人員(PE,EE等)合作,解決線上異常。可以看出,PIE與PE的最大區別在於,PIE最關心的是自己的產品的WAT電性能參數的CPK穩定性,PE最關心的是自己管的製程中各種參數的CPK穩定性,所以PIE的強項在於電性能參數和全套製程流程的結合。

因此不難看出,PIE和PE有強烈的依存關係,PIE面對的人更加多,也更加複雜。PIE也是技術到行政上的轉化,當PE只安心研究自己所負責製程的技術時,PIE還要面對客戶和上司的苛刻要求。從人事上講,一個好的PIE會保護和自己合作的PE,而PE則需要配合PIE完成各項任務。

PIE需要PE為自己的實驗準備程式,調試機台,提供意見……沒有PE的Support,PIE不可能順利完成任務。而PE必須按照PIE要求並配合PIE完成對新產品的嘗試,或對已完成產品的回溯分析。所以PIE應該被認為是PE的一種升級,或者另一個大家默認的由來:PIE = PE + IE,(Process Engineer)+(industry Engineer)。

註: WAT電性能參數,包括I, V, I, Break down voltage, Rs, Rc等等。

PE:工藝工程師。

EE:設備工程師。

CPK:過程能力指數。

工作內容

PIE的工作包括很多方面,下面是其中一些:

1.DRC,design rule check,這個其實本來不應該PIE去做, 而是應該由專門的DRC team去做, 但是實際公司不會這么考慮,他們很可能要求PIE也適當接手相關任務。這個工作不難,但是很繁瑣,每個fab有自己的design rule, 客戶必須按照這樣的rule去設計,否則fab做出來的產品肯定會有問題。所以,PIE要通過ejobview去檢查每一層各種線寬,距離對不對,對gap做出判斷,能否被本廠的黃光機台曝開,能否被waive(忽略),gap是由於各種原因,在job上有不該有的縫之類缺陷。

2.NTO,new tape out。意思是新產品下線,客戶到fab流片,CE會告訴PIE這個產品各方面信息,PIE根據這些,去找一條最合適的製程flow,或者從已有的製程上面增減一些步驟,並且要建立WAT測試程式等等,最後新產品才能順利的在fab製造出來。這裡告訴一個很多人不知道的典故,就是為什麼叫NTO?因為在20年前,那時候沒有磁碟,更不要說硬碟那些了,新產品的data是記在磁帶上給fab的,所以叫新磁帶來了,就是新產品來了。

3.Lot owner。這是PIE的核心工作之一,我的地盤我做主,以後大家要是做PIE,一定要記住,做lot owner一定要有王者氣勢,自己的貨自己要對它每一個細節都非常了解,從layout,testline,process,WAT,SEM,不允許任何人來指手畫腳(除了自己的老闆),當然自己也不要插手別人的貨(除非徵得別人同意),

因為自己的貨出任何問題,責任都是自己一個人擔。

所謂帶好自己的貨,就是第一,處理好run貨過程中任何突發問題,第二,保證WAT電性能參數的CPK穩定性,第三,保證高良率。

4.查WAT和CP的case。這是PIE最有技術含量的核心工作之一。這個工作很複雜,以後另外告訴大家。大概就是當WAT參數或者CP 良率出問題時, 通過邏輯,經驗分析,結合WAT data,找出線上出問題的步驟;如果當以上方法都失敗的時候,就要自己去設計實驗,通過特殊的方法去找到問題和解決辦法, 當然工作量會很大。

5.technology transfer.這是PIE最痛苦的核心工作,因為很容易MO。一般來講,成功轉移一個技術,可以為公司創造巨大的利潤,因為很多時候,都是客戶需要,但是fab這邊的產品qual不過,所以有錢也賺不到。

QUAL是非常苛刻的,需要WAT,Cp,process要非常穩定才行,而這些是最考驗PIE素質的,在建立生產線的時候,一個細節不注意,就有可能QUAL不過,客戶就有被其他fab搶走。

6.其他。PIE工作遠不止以上那些,PIE最麻煩的就是雜事多,Q來audit一個CD大了,要去處理;客戶要求半夜開會(一般是美國的),要去開;平時還要做很多report,簽R/C。有時候覺得比PE,EE要累很多,因為他們只需要負責眼前的自己的模組。

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