吉元[人物]

吉元，研究員，碩士生導師。1975年畢業於北京工業大學機械系。1976年至今，先後在北京工業大學顯微分析中心和固體微結構與性能研究所工作。

吉元老師

1985年~1987年在德國明斯特大學物理所從事掃描電鏡（SEM）和電子探針（EPMA）的研究，2001年在德國烏珀塔爾大學電子所從事微電子/光電子器件的掃描探針（SPM）熱成像和聲成像的研究。

主要研究方向：

掃描電子顯微分析方法的研究及新技術開發。包括原位動態觀察，絕緣材料的荷電效應、荷電補償及荷電套用，高分辨成像，電子背散射衍射（EBSD）等。主要涉及半導體結構與電子器件的電、熱應力失效分析及可靠性研究，複合材料、化學與生物工程材料的微結構與局域性能的研究。

在研課題：

總裝備部國防科技重點實驗室VLSI互連線應力遷徙研究項目，國防科工委軍用半導體器件電徙動加速壽命實驗新方法及套用項目。

科研成果：

曾主持和參加國家和北京市自然科學基金項目，電子工業部軍事預言項目及科技攻關項目等。發表論文60餘篇。獲國家發明專利4項。獲電子部及北京市科技進步二等獎、國家和北京市自然科學基金項目優秀項目獎6項。