光纖通信用光電子器件製作工藝基礎

內容介紹本書較全面地介紹了光纖通信用光電子器件和組件的製作工藝（包括工藝理論基礎和可供參考的工藝數據）。 本書是編著者多年工作經驗之積累，也展示製作工藝中的最新技術，是一部光纖通信用光電子器件較為全面的製作工藝類技術書。 該書可供從事光纖通信用光電子器件的設計、研究、製作人員的使用和參考，也可供大專院校光通信、光電子技術專業師生使用和參考。

內容介紹

本書較全面地介紹了光纖通信用光電子器件和組件的製作工藝（包括工藝理論基礎和可供參考的工藝數據）。它從雷射二極體、光探測器、光調製器和半導體光放大器等主要光電子器件的結構入手，論述為實現這些結構所必須的主要製作工藝技術，重點介紹了Si基和Ⅲ-V族化合物基光電子器件的材料製備（包括各種外延生長技術）、光刻和腐蝕、摻雜、介質膜和金屬膜製備、器件和組件的組裝和封裝等工藝技術。
本書是編著者多年工作經驗之積累，也展示製作工藝中的最新技術，是一部光纖通信用光電子器件較為全面的製作工藝類技術書。該書可供從事光纖通信用光電子器件的設計、研究、製作人員的使用和參考，也可供大專院校光通信、光電子技術專業師生使用和參考。